[实用新型]一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置

权利要求书

1.一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置，包括保温壳(1)，其特征在于：所述保温壳(1)的上表面固定连接有连接套(2)，所述连接套(2)的上表面固定连接有副室(3)，所述副室(3)的上表面固定连接有上传动装置(4)，所述保温壳(1)的下表面固定连接有分隔板(5)，所述分隔板(5)的下表面固定连接有传动室(6)，所述传动室(6)的下表面固定连接有配重板(7)，所述保温壳(1)的内部固定连接有加热器(21)，所述保温壳(1)的内部固定连接有炉底护盘(8)，所述炉底护盘(8)与分隔板(5)之间形成隔温室(9)。

2.根据权利要求1所述的一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置，其特征在于：所述传动室(6)的上表面固定连接有气动杆(10)，所述气动杆(10)的上表面贯穿炉底护盘(8)固定连接有坩埚(11)，所述坩埚(11)的内部装有原料(12)，所述原料(12)的上表面形成单晶棒(13)，所述单晶棒(13)的上表面形成籽晶(14)。

3.根据权利要求1所述的一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置，其特征在于：所述传动室(6)的下表面固定连接有油箱(15)，所述油箱(15)的右表面固定连接油泵(16)，所述油泵(16)的输出端固定连接有输油管(17)，所述输油管(17)的右端与气动杆(10)的左表面固定连接，且输油管(17)的出口位于气动杆(10)活动端。

4.根据权利要求1所述的一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置，其特征在于：所述保温壳(1)的右表面固定连接有气缸(18)，所述气缸(18)的左表面固定连接有气管(19)，所述气管(19)的左表面与气动杆(10)的右表面固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置，其特征在于：所述保温壳(1)的前面固定连接有控制箱(20)。