[实用新型]用于料件的支撑转移机构有效
申请号: | 202121445780.2 | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN215266228U | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 胡小辉 | 申请(专利权)人: | 苏州辰轩光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 | 代理人: | 计静静 |
地址: | 215127 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 支撑 转移 机构 | ||
1.一种用于料件的支撑转移机构,其特征在于,包括支撑单元、驱动单元以及铲片单元;
所述支撑单元包括支撑基座、用于支撑料件的支撑平台,所述支撑平台设置在所述支撑基座上且位于第一平面内;
所述驱动单元能够与所述支撑基座驱动连接,以驱动所述支撑基座相对第一平面转过预设角度;
所述铲片单元与转过预设角度的所述支撑基座位于同一平面内,所述铲片单元能够在朝向所述支撑基座移动至预设位置后将料件从所述支撑平台上铲离。
2.如权利要求1所述的用于料件的支撑转移机构,其特征在于,包括设置在所述支撑基座上且位于第一平面内的安装平台、位于外部且与所述安装平台机械配合的限位块,所述安装平台能够在所述驱动单元驱动下转过预设角度后与所述限位块抵接。
3.如权利要求1所述的用于料件的支撑转移机构,其特征在于,所述支撑基座上设置有转动件,所述支撑平台安装在所述转动件的输出端上,所述转动件能够驱动所述支撑平台间歇式转动。
4.如权利要求3所述的用于料件的支撑转移机构,其特征在于,包括能够检测料件位置信息的传感件,所述传感件与所述转动件信号连接。
5.如权利要求1所述的用于料件的支撑转移机构,其特征在于,所述铲片单元包括铲片本体、第一推动件和第二推动件,所述铲片本体设置在所述第二推动件的输出端上,所述第一推动件能够推动所述第二推动件朝向料件移动,所述第二推动件能够推动所述铲片本体与料件抵接并将料件铲离所述支撑平台。
6.如权利要求5所述的用于料件的支撑转移机构,其特征在于,所述铲片本体呈三棱柱状,所述铲片本体的一个侧壁能够贴合所述支撑平台的表面,所述铲片本体的一个棱边用于铲离料件。
7.如权利要求1所述的用于料件的支撑转移机构,其特征在于,包括位于第一平面内的第三推动件,所述支撑单元设置在所述第三推动件上,所述第三推动件能够推动所述支撑单元在第一平面内移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造