[实用新型]一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置

说明书

本实用新型提供一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。本实用新型的有益效果是利用收集装置能够完整的将剩液全部回收至回收瓶中，解决现有技术中只能将瓶底剩余的磷源浪费，其中每5个瓶中的剩液的重量与1个全新的磷源液瓶中的重量一致，大大的减少了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片单多晶扩散三氯氧磷的再次使用装置技术领域，尤其是涉及一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置。

背景技术

太阳能电池片单多晶扩散工艺中，使用的源瓶中装载三氯氧磷，在使用的过程中，氮气经过左侧的管子进入源瓶，鼓泡随后通过右侧管子输送进入扩散炉中，完成反应；源瓶底部设计为中间高，两边低，有利于最大限度使用三氯氧磷；现有源瓶设计容量1.7L，承放磷源量1.5L。

现有技术中，因为源瓶底部的设计为中间高两侧低的设计，导致底部存在一定的高度差，三氯氧磷无法完全用完，存在浪费；且在扩散工序中，磷源中的三氯氧磷接近低液位时，鼓泡气体携带的磷源量不足，导致方阻出现不可控，不适合继续生产。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，有效的解决因源瓶底部的设计为中间高两侧低的设计，导致底部存在一定的高度差，三氯氧磷无法完全用完，存在浪费；且在扩散工序中，磷源中的三氯氧磷接近低液位时，鼓泡气体携带的磷源量不足，导致方阻出现不可控，不适合继续生产的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，

剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。

优选地，所述第一剩液瓶的顶部还连接有一用于进入高纯气体的进气管，所述高纯气体进入所述第一剩液瓶后将所述剩液沿所述连接件移动至所述第二剩液瓶中，再将所述剩液沿所述连接件移动至所述回收瓶中。

优选地，所述进气管上设置有开关阀，用于控制所述高纯气体的进入。

优选地，所述尾气处理瓶的顶部还设置一用于导出高纯气体的出气管，所述高纯气体在所述尾气处理瓶中处理过后，通过所述出气管排出所述尾气处理瓶。

优选地，所述连接件包括连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶的第一连接件、连接所述第二剩液瓶和所述回收瓶的第二连接件和连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶的所述第三连接件。

优选地，所述第一连接件和所述第三连接件均为一侧管长短于另一侧管长，其中，

所述第一连接件的长管一侧伸入所述第一剩液瓶中，短管一侧伸入所述第二剩液瓶中，连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶；

所述第三连接件的短管一侧伸入所述回收瓶中，长管一侧伸入所述尾气处理瓶中，连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶。

优选地，所述第一连接件和所述第三连接件的短管一侧均设置有开关阀；所述第一连接件控制所述剩液的流动，所述第三连接件控制高纯气体的进出。

优选地，所述第二连接件的两侧长度一致，分别伸入所述第二剩液瓶和所述回收瓶中，将所述剩液回收至所述回收瓶中。

采用上述技术方案，第一连接件和第三连接件的的两侧长度不一致，较长一侧能够伸入第一剩液瓶的瓶底，将第一剩液瓶中的剩液全部移动至第二剩液瓶中，把以前不能回收利用而直接浪费的磷源收集起来，进行重新利用，能够相应的减少一定的生产成本。