[实用新型]一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置

权利要求书

1.一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，

剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。

2.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第一剩液瓶的顶部还连接有一用于进入高纯气体的进气管，所述高纯气体进入所述第一剩液瓶后将所述剩液沿所述连接件移动至所述第二剩液瓶中，再将所述剩液沿所述连接件移动至所述回收瓶中。

3.根据权利要求2所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述进气管上设置有开关阀，用于控制所述高纯气体的进入。

4.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述尾气处理瓶的顶部还设置一用于导出高纯气体的出气管，所述高纯气体在所述尾气处理瓶中处理过后，通过所述出气管排出所述尾气处理瓶。

5.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述连接件包括连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶的第一连接件、连接所述第二剩液瓶和所述回收瓶的第二连接件和连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶的第三连接件。

6.根据权利要求5所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第一连接件和所述第三连接件均为一侧管长短于另一侧管长，其中，

所述第一连接件的长管一侧伸入所述第一剩液瓶中，短管一侧伸入所述第二剩液瓶中，连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶；

所述第三连接件的短管一侧伸入所述回收瓶中，长管一侧伸入所述尾气处理瓶中，连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶。

7.根据权利要求6所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第一连接件和所述第三连接件的短管一侧均设置有开关阀；所述第一连接件控制所述剩液的流动，所述第三连接件控制高纯气体的进出。

8.根据权利要求5、6或7所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第二连接件的两侧长度一致，分别伸入所述第二剩液瓶和所述回收瓶中，将所述剩液回收至所述回收瓶中。