[实用新型]一种防止硅片粘连的硅片承载器有效
| 申请号: | 202121406504.5 | 申请日: | 2021-06-23 |
| 公开(公告)号: | CN214956795U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
| 发明(设计)人: | 叶挺宁 | 申请(专利权)人: | 中赣新能源股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人: | 程嘉炜 |
| 地址: | 335000 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 防止 硅片 粘连 承载 | ||
本实用新型公开了一种防止硅片粘连的硅片承载器,包括底板,所述底板的两侧设置有移动板,所述移动板的两侧固定有立杆,所述立杆的表面套接有横杆,所述横杆的外表面均匀设置有分隔片,所述横杆的外端表面开设螺纹孔连接有第一螺纹顶丝,所述第一螺纹顶丝挤压在立杆的外表面,所述底板的表面开设凸形滑槽,所述移动板的下表面设置有凸形滑块,所述凸形滑块滑进凸形滑槽内,所述移动板的中端表面开设螺纹孔连接有第二螺纹顶丝,所述第二螺纹顶丝顶紧底板,通过采用两侧分布设置的分隔组件,其可上下左右调整位置,可根据硅片的大小进行调节使用,使用便捷灵活。
技术领域
本实用新型涉及硅片承载器领域,更具体地说,涉及一种防止硅片粘连的硅片承载器。
背景技术
微电子技术正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防,也正在悄悄进入每一个家庭,小小硅片的巨大魔力是我们的前人根本无法想象的;
其现有技术中硅片需要通过分隔承载器储存,其现有技术中的分隔承载器中都是根据硅片大小制成的对应尺寸,其不可调节使用,不便于不同大小的硅片进行储存。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种防止硅片粘连的硅片承载器,通过采用两侧分布设置的分隔组件,其可上下左右调整位置,可根据硅片的大小进行调节使用,使用便捷灵活。
为解决上述问题,本实用新型采用如下的技术方案。
一种防止硅片粘连的硅片承载器,包括底板,所述底板的两侧设置有移动板,所述移动板的两侧固定有立杆,所述立杆的表面套接有横杆,所述横杆的外表面均匀设置有分隔片,所述横杆的外端表面开设螺纹孔连接有第一螺纹顶丝,所述第一螺纹顶丝挤压在立杆的外表面,所述底板的表面开设凸形滑槽,所述移动板的下表面设置有凸形滑块,所述凸形滑块滑进凸形滑槽内,所述移动板的中端表面开设螺纹孔连接有第二螺纹顶丝,所述第二螺纹顶丝顶紧底板,通过采用两侧分布设置的分隔组件,其可上下左右调整位置,可根据硅片的大小进行调节使用,使用便捷灵活。
进一步的,所述第一螺纹顶丝设置在横杆的两端,两端设置,可两端锁紧,固定牢固。
进一步的,所述凸形滑槽设置在底板的两端上表面,凸形滑块设置在移动板的下表面两端,两侧分布,滑配稳定。
进一步的,所述横杆的两端设置滑孔套接在立杆的外表面,便于调节横杆高度,可套接滑动,使用便捷。
进一步的,所述第一螺纹顶丝和第二螺纹顶丝的外端表面设置有防滑槽纹,扭动时增大手指摩擦力,便于扭紧。
相比于现有技术,本实用新型的优点在于:
(1)通过采用两侧分布设置的分隔组件,其可上下左右调整位置,可根据硅片的大小进行调节使用,使用便捷灵活。
(2)第一螺纹顶丝设置在横杆的两端,两端设置,可两端锁紧,固定牢固。
(3)凸形滑槽设置在底板的两端上表面,凸形滑块设置在移动板的下表面两端,两侧分布,滑配稳定。
(4)横杆的两端设置滑孔套接在立杆的外表面,便于调节横杆高度,可套接滑动,使用便捷。
(5)第一螺纹顶丝和第二螺纹顶丝的外端表面设置有防滑槽纹,扭动时增大手指摩擦力,便于扭紧。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型的整体结构俯视图;
图3为本实用新型的底板示意图。
图中标号说明:
1底板、2移动板、3立杆、4横杆、5分隔片、6第一螺纹顶丝、7第二螺纹顶丝、10凸形滑槽、20凸形滑块。
具体实施方式
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