[实用新型]一种匀光照明设备及匀光棒

说明书

本实用新型涉及光学照明技术领域，尤其涉及一种匀光照明设备及匀光棒，包括光刻机镜头；光刻机镜头包括中继镜筒、匀光棒镜筒、照明镜筒、物镜筒、反射镜框和照明镜筒座；匀光棒镜筒与中继镜筒的连接端设置有左封头，匀光棒镜筒与照明镜筒的连接端设置有右封头；匀光棒镜筒的内部设置有空心光棒，空心光棒包括两条大玻璃条和两条小玻璃条；大玻璃条和小玻璃条均为平面玻璃；且在其表面镀有大角度入射的高反膜；一条大玻璃条与一条小玻璃条通过光敏胶胶合形成组合件，两组组合件胶合形成空心光棒；本实用新型中空心光棒相对于实心光棒有效避免了加工过程中破边的问题；满足匀光照明的降低了装调的难度，使用更加方便。

技术领域

本实用新型涉及光学照明技术领域，尤其涉及一种匀光照明设备及匀光棒。

背景技术

匀光棒，也称为光棒、导光管，通常用于对光束的匀化。根据不同的结构形式，匀光棒可分为实心棒和空心棒。在激光投影系统、显微照明、基因测序设备照明、光刻机照明系统中，匀光棒作为匀光器件来实现良好的照明均匀性。匀光棒的进行匀光的原理为：将入射至匀光棒的一定发散角度的光线进行多次反射，使光束分布均匀，进而实现匀光棒匀光的效果。在投影照明系统、显微成像照明系统等应用中，光源通常采用高相干性、高功率的激光光源。匀光棒通常被设置于照明光源和光机部分的衔接位置处，用于接收光源发射的一定角度范围的入射光，并将光束匀化后再输出给后续的照明组件，进入投影物镜或显微物镜中，最后实现均匀照明或成像。根据匀光棒匀光的原理，照明均匀性与匀光棒的端面尺寸成反比关系，与匀光棒的长度成正比关系。需求照明的视场越大，要求匀光棒的端面尺寸越大，光线一次反射的路径就越长，反射的次数也需要增加。因此，为实现大视场、高均匀性的照明，需要增大匀光棒的长度。为了缩短光路、增强照明均匀性，一些照明光路中应用微透镜阵列或微柱面镜阵列，也有一些系统将匀光棒与微透镜阵列或微柱面阵列组合使用。为增强照明均匀性，满足更大视场光学系统均匀照明的需求，通过增大匀光棒的方法导致照明光学系统体积增大，尤其是长度会迅速增大，这导致整个产品的体积增大和成本的提高。采用匀光棒与微透镜阵列等组合的方式则导致照明光学系统装调过程复杂，难度增大。

为解决上述问题，本申请中提出一种匀光照明设备及匀光棒。

实用新型内容

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种匀光照明设备及匀光棒，空心光棒相对于实心光棒有效避免了加工过程中破边的问题，同时解决了光棒在系统中的夹持问题；满足匀光照明的降低了装调的难度，使用更加方便的特点。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种匀光照明设备及匀光棒，包括光刻机镜头；

光刻机镜头包括中继镜筒、匀光棒镜筒、照明镜筒、物镜筒、反射镜框和照明镜筒座；

光刻机镜头的中部设置有安装座，安装座内部中空形成安装腔；反射镜框设置在安装腔内，反射镜框中部设置有转轴，转轴与安装座的内壁转动连接；

物镜筒设置在安装座的一侧；照明镜筒座设置在安装座的另一侧；照明镜筒设置在照明镜筒座上；匀光棒镜筒设置在照明镜筒的一端；中继镜筒设置在匀光棒镜筒的另一端；

匀光棒镜筒与中继镜筒的连接端设置有左封头，匀光棒镜筒与照明镜筒的连接端设置有右封头；匀光棒镜筒的内部设置有空心光棒，空心光棒包括两条大玻璃条和两条小玻璃条；大玻璃条和小玻璃条均为平面玻璃；且在其表面镀有大角度入射的高反膜；一条大玻璃条与一条小玻璃条通过光敏胶胶合形成组合件，两组组合件胶合形成空心光棒。

优选的，中继镜筒的内部设置有多组用于反射光线的镜片；镜片之间均设置有隔圈；中继镜筒的外壳上设置有限位圈。

优选的，匀光棒镜筒的两端均设置有便于固定的锁紧圈。