[实用新型]一种匀光照明设备及匀光棒有效
| 申请号: | 202121404800.1 | 申请日: | 2021-06-23 |
| 公开(公告)号: | CN214896200U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
| 发明(设计)人: | 周升志;王义华 | 申请(专利权)人: | 无锡锡科光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人: | 许新蕊 |
| 地址: | 214100 江苏省无锡市惠*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 照明设备 匀光棒 | ||
1.一种匀光照明设备及匀光棒,其特征在于,包括光刻机镜头;
光刻机镜头包括中继镜筒(4)、匀光棒镜筒(10)、照明镜筒(13)、物镜筒(25)、反射镜框(41)和照明镜筒座(45);
光刻机镜头的中部设置有安装座,安装座内部中空形成安装腔;反射镜框(41)设置在安装腔内,反射镜框(41)中部设置有转轴(40),转轴(40)与安装座的内壁转动连接;
物镜筒(25)设置在安装座的一侧;照明镜筒座(45)设置在安装座的另一侧;照明镜筒(13)设置在照明镜筒座(45)上;匀光棒镜筒(10)设置在照明镜筒(13)的一端;中继镜筒(4)设置在匀光棒镜筒(10)的另一端;
匀光棒镜筒(10)与中继镜筒(4)的连接端设置有左封头(9),匀光棒镜筒(10)与照明镜筒(13)的连接端设置有右封头(12);匀光棒镜筒(10)的内部设置有空心光棒,空心光棒包括两条大玻璃条(101)和两条小玻璃条(102);大玻璃条(101)和小玻璃条(102)均为平面玻璃;且在其表面镀有大角度入射的高反膜;一条大玻璃条(101)与一条小玻璃条(102)通过光敏胶(103)胶合形成组合件,两组组合件胶合形成空心光棒。
2.根据权利要求1所述的一种匀光照明设备及匀光棒,其特征在于,中继镜筒(4)的内部设置有多组用于反射光线的镜片;镜片之间均设置有隔圈(2);中继镜筒(4)的外壳上设置有限位圈(1)。
3.根据权利要求1所述的一种匀光照明设备及匀光棒,其特征在于,匀光棒镜筒(10)的两端均设置有便于固定的锁紧圈(3)。
4.根据权利要求1所述的一种匀光照明设备及匀光棒,其特征在于,物镜筒(25)与安装座的连接部设置有多个锁紧圈(3),物镜筒(25)的外周上设置有便于固定的法兰圈(23);物镜筒(25)的外周上设置有转动连接的调节圈(24);物镜筒(25)朝向镜头的一端设置有调焦圈(29);物镜筒(25)的内部设置有多个用于反射的镜片,镜片之间设置有隔圈(2);物镜筒(25)的内部设置有光栏圈(36)。
5.根据权利要求1所述的一种匀光照明设备及匀光棒,其特征在于,安装座上设置有可开启的盖板(42)。
6.根据权利要求1所述的一种匀光照明设备及匀光棒,其特征在于,反射镜框(41)上设置有压板(39)。
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