[实用新型]一种制备籽晶的装置

权利要求书

1.一种制备籽晶的装置，其特征在于，包括：

处理腔室，所述处理腔室内设置有坩埚；

装载单元，所述装载单元包括至少两个装载件，所述装载件用于装载籽晶；每个所述装载件均能够调节与所述坩埚的相对位置，以使其中一个所述籽晶的生长面与所述坩埚内的物料相对；

所述装载单元用于将待处理的籽晶运送至所述坩埚内的物料上方，并将处理完成的籽晶从所述坩埚内的物料上方移走。

2.根据权利要求1所述的制备籽晶的装置，其特征在于，所述装载单元包括转盘，每个所述装载件均与所述转盘相连；

所述转盘用于将待处理的籽晶移至所述坩埚内的物料上方，并将处理完成的籽晶从所述坩埚内的物料上方移走。

3.根据权利要求1所述的制备籽晶的装置，其特征在于，所述装载件包括连接臂和装载托，所述装载托的结构与所述籽晶的形状适配，所述装载托设置有开口，且沿所述装载托周向的内部开设有凹槽；

所述籽晶通过所述开口进入所述凹槽，并卡合在所述凹槽内。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备籽晶的装置，其特征在于，还包括升降单元，所述升降单元设置在所述坩埚下方，用于调节所述坩埚与所述籽晶生长面之间的距离。

5.根据权利要求1-3任一项所述的制备籽晶的装置，其特征在于，所述装载单元还包括储料单元，所述储料单元设置在所述处理腔室内，用于存储待处理的所述籽晶。

6.根据权利要求5所述的制备籽晶的装置，其特征在于，所述储料单元包括储料仓和机械手，所述储料仓内沿轴向设置有至少两个储料架，所述储料架用于存储待处理的籽晶，所述机械手用于将待处理的所述籽晶移动至所述装载件上。

7.根据权利要求1-3任一项所述的制备籽晶的装置，其特征在于，还包括冷却腔室，所述冷却腔室与所述处理腔室之间设置有分隔板，所述分隔板上设置有条状开口；

所述装载件带动处理完成的所述籽晶，经过所述条状开口后，进入所述冷却腔室。

8.根据权利要求7所述的制备籽晶的装置，其特征在于，所述冷却腔室内设置有收料单元，所述收料单元内设置有至少两个收料仓；

所述装载件带动处理完成的所述籽晶，经过所述条状开口后，将处理后的所述籽晶放置在所述收料仓内。

9.根据权利要求7所述的制备籽晶的装置，其特征在于，所述处理腔室包括第一进气口和出气口；和/或

所述处理腔室包括第一测温装置；和/或

所述冷却腔室包括第二进气口，所述第二进气口用于向所述冷却腔室内通入冷却气体；和/或

所述冷却腔室包括第二测温装置。

10.根据权利要求1-3任一项所述的制备籽晶的装置，其特征在于，所述坩埚外套设有保温结构，所述坩埚与保温结构之间设置有加热单元。