[实用新型]一种光刻胶喷头的清洗装置有效

专利信息
申请号: 202121376919.2 申请日: 2021-06-21
公开(公告)号: CN214865754U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 花荣;傅姿;程小飞 申请(专利权)人: 上海函泰电子科技有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B1/04;B08B13/00
代理公司: 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 代理人: 马威
地址: 201199 上海市闵行*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 光刻 喷头 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种光刻胶喷头的清洗装置,其特征在于:包括:清洗箱(1),所述清洗箱(1)的左侧设置有控制器(2)且内部设置有盛液槽(4),所述盛液槽(4)的底部设置有超声波发生器(3)且超声波发生与控制器(2)之间电性连接,所述盛液槽(4)的内部设置有网兜(7)且网兜(7)的上部设置有耳板(8),所述盛液槽(4)的内部设置有卡块(5)且卡块(5)与耳板(8)之间相互接触,所述清洗箱(1)的右侧设置有支撑架(9)且支撑架(9)的内部设置有滑动槽(16),所述滑动槽(16)的内部设置有螺杆(17)且螺杆(17)的一端延伸至支撑架(9)顶部,所述支撑架(9)的顶部设置有安装架(18)且安装架(18)的上部设置有电机(19),所述电机(19)的动力输出端与螺杆(17)之间固定连接,所述螺杆(17)的表面设置有滑动块且滑动块的侧面设置有安装板(10),所述安装板(10)的上部设置有驱动器(11)且驱动器(11)的动力输出端设置有清洗刷(12),所述支撑架(9)的侧面设置有固定架(13)且固定架(13)的中心处设置有固定块,所述清洗刷(12)与固定孔之间相对应。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷头的清洗装置,其特征在于:所述固定架(13)的底部设置有四组活动杆(14)且活动杆(14)的下部设置有弹性圈(15),所述活动杆(14)位于固定孔的边缘处且与固定架(13)之间转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷头的清洗装置,其特征在于:所述固定孔的内部设置有弹簧柱(20)且弹簧柱(20)的侧面设置有夹板(21),所述夹板(21)通过弹簧柱(20)与固定孔之间伸缩连接。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷头的清洗装置,其特征在于:所述盛液槽(4)的内壁设置有托架(6)且托架(6)与盛液箱之间通过螺栓固定

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷头的清洗装置,其特征在于:所述清洗刷(12)的刷毛呈倾斜状设置且清洗刷(12)通过刷毛形成倒锥形结构。

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