[实用新型]一种高效率的全自动紫外线解胶机有效
| 申请号: | 202121371263.5 | 申请日: | 2021-06-21 |
| 公开(公告)号: | CN214624990U | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 米辉;张剑胜;鲍贵军;王海名;王建文 | 申请(专利权)人: | 上海技垚科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人: | 吴海燕 |
| 地址: | 200135 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码: | 上海;31 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高效率 全自动 紫外线 解胶机 | ||
1.一种高效率的全自动紫外线解胶机,包括有机架(1),其特征在于:所述机架(1)的顶部安装有壳体(2),且壳体(2)的正端面嵌合连接有显示屏(3),所述显示屏(3)的底部安装有按钮(4),且按钮(4)的底部连接有键盘(5),且键盘(5)在壳体(2)的内部嵌合连接,所述机架(1)的正端面嵌合安装有工业控制计算机(6),且机架(1)的内部设置有提篮升降机构(7),所述提篮升降机构(7)的一侧连接有上下双轨道双搬运机械手传送机构(8),所述上下双轨道双搬运机械手传送机构(8)的内部包括有第一直线导轨(801),且第一直线导轨(801)的顶部安装有第一原点传感器(802),所述第一原点传感器(802)的顶部安装有第一升降气缸(803),且第一升降气缸(803)的一侧连接有第一反射式传感器(804),所述第一直线导轨(801)的后端安装有第二升降气缸(805),且第二升降气缸(805)的一侧连接有第一导向座(806),所述第一导向座(806)的顶部安装有第二反射式传感器(807),且第二反射式传感器(807)的一侧连接有下层搬运机械手(808),所述下层搬运机械手(808)的一侧安装有第三升降气缸(809),且第三升降气缸(809)的另一侧连接有第三反射式传感器(8010),所述第三反射式传感器(8010)的外部安装有第二原点传感器(8011),且第二原点传感器(8011)的底部连接有第二伺服电机(8012),所述第二伺服电机(8012)的内侧安装有第二直线导轨(8013),且第二直线导轨(8013)的底部设置有第一同步带(8014),所述第一同步带(8014)的外部安装有第一浮动接头(8015),且第一浮动接头(8015)的底端连接有第四升降气缸(8016),所述第四升降气缸(8016)的内侧安装有第二导向座(8017),所述第一同步带(8014)的内壁套设有第一同步轮(8018),所述第一浮动接头(8015)的顶端连接有上层搬运机械手(8019),且上层搬运机械手(8019)的底部安装有片环限位板(8020),所述片环限位板(8020)的顶端连接有反射式光纤(8021),所述第一同步带(8014)的内侧安装有第三直线导轨(8022),且第三直线导轨(8022)的一侧连接有第一驱动气缸(8023),所述第一驱动气缸(8023)的另一侧安装有第四反射式传感器(8024),所述第一直线导轨(801)的顶部设置有第二同步轮(8025),所述上层搬运机械手(8019)的一侧连接有第二浮动接头(8026),且第二浮动接头(8026)的另一侧安装有第四直线导轨(8027),所述第四直线导轨(8027)的另一侧连接有第二驱动气缸(8028),所述第二同步轮(8025)的外壁套设有第二同步带(8029),且第二同步带(8029)的另一侧连接有第三伺服电机(8030),所述上下双轨道双搬运机械手传送机构(8)的顶部安装有上下层导引机构(10),所述上下层导引机构(10)的顶部连接有氮气充填及紫外线氮气充填及紫外线遮光机构(9),所述上下双轨道双搬运机械手传送机构(8)的顶端安装有已解胶片环印章标记机构(11)。
2.根据权利要求1所述的一种高效率的全自动紫外线解胶机,其特征在于:所述上层搬运机械手(8019)的前端设置有夹爪气缸驱动夹爪,所述下层搬运机械手(808)的后端设置有夹爪气缸驱动夹爪。
3.根据权利要求1所述的一种高效率的全自动紫外线解胶机,其特征在于:所述提篮升降机构(7)的内部包括有限位块本体(701),且限位块本体(701)对称分布有四组,所述限位块本体(701)的内侧连接有提篮板(702),且提篮板(702)的内壁安装有片环本体(703),所述提篮板(702)的底部安装有升降空心筒(704),且升降空心筒(704)的一侧连接有升降板(705),所述升降板(705)的底端安装有第一直线轴承(706),且第一直线轴承(706)的内壁有直线导向轴(707),所述升降空心筒(704)的内腔安装有第一滚珠丝杆(708),且第一滚珠丝杆(708)的底端连接有联轴器(709),所述联轴器(709)的另一侧安装有第一伺服电机(7010),且联轴器(709)的外壁设置有第一轴承盖(7011),所述直线导向轴(707)的顶端安装有底板(7012)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海技垚科技有限公司,未经上海技垚科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121371263.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:反光膜返修贴膜机
- 下一篇:花篮硅片用活动式精确分片装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





