[实用新型]一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，具体涉及废酸处理技术领域，包括反应箱，所述反应箱内部设有渗析机构，所述渗析机构包括安装板，所述安装板一侧设有隔板并与隔板通过螺栓连接，所述隔板上镶嵌有阴离子交换膜。本实用新型通过设置渗析机构，在反应箱中设置有阴离子交换膜，而后通过抽液泵和抽液管将废酸液导入反应箱内部，储水罐中的纯净水也通入反应箱内部，阴离子交换膜将废酸液与纯净水隔开，由于二者中废酸液的浓度差不同，废酸液中的废酸便可通过阴离子交换膜而进入另一侧的水中，以此对废酸进行高效回收，不消耗能量，不产生废渣、也无需使用其他药剂，成本低。

技术领域

本实用新型涉及废酸处理技术领域，更具体地说是一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置。

背景技术

半导体行业中使用氢氟酸刻蚀二氧化硅以及清洗石英器皿，硫酸用来清洗硅片，化学品经使用过后得到废酸液，该部分酸废液在半导体行业废水中占比很大，未经过处理会对环境造成很大的危害，同时造成大量资源浪费，因此对这些废酸液进行有效地处理一直是人们关注的热点。

目前的处理方法主要是酸碱中和、蒸发吸收、萃取等，其中石灰中和法虽然能中和废水中的酸，也能去除氟离子和硫酸根离子，处理费用较低，但石灰中和法存在管理繁琐、不易控制、产生的废渣量大、资源浪费、不能回收酸废液中的酸等缺点；蒸发吸收挥发性酸的方法对处理设备要求苛刻，要具有耐腐蚀性的设备，并且操作和处理费用都较高；溶剂萃取法同样需要投入大量的萃取药剂，只适合高附加经济价值的酸的回收，成本高，因此，研究一种简单有效且经济环保的从半导体行业制程产生的废酸液中回收酸的方法，是非常有必要的。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，以解决上述背景技术中出现的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，包括反应箱，所述反应箱内部设有渗析机构；

所述渗析机构包括安装板，所述安装板设在反应箱内部，所述安装板外端与反应箱内壁固定连接，所述安装板一侧设有隔板并与隔板通过螺栓连接，所述隔板上镶嵌有阴离子交换膜。

进一步地，所述反应箱顶端固定设有过滤舱，所述过滤舱内部设有过滤器，所述过滤舱底端固定设有连通管，所述连通管一端延伸至反应箱内部。

进一步地，所述反应箱一侧设有废酸罐，所述废酸罐内部设有抽液管，所述抽液管一端贯穿废酸罐顶端并与过滤舱顶端固定连接，所述废酸罐顶端固定设有抽液泵，所述抽液泵固定设在抽液管上。

进一步地，所述反应箱顶端固定设有储水罐，所述储水罐和过滤舱分别位于隔板两侧，所述储水罐和废酸罐前侧均固定设有进料管，所述进料管上固定设有第一阀门，所述储水罐一侧固定设有连接管，所述连接管上固定设有电磁阀，所述连接管一端固定设有叶轮箱，所述叶轮箱固定设在反应箱另一侧。

进一步地，所述叶轮箱内部设有搅拌轴，所述搅拌轴两端分别与叶轮箱两侧内壁通过密封轴承活动连接，所述搅拌轴一端延伸至反应箱内部，所述反应箱内部设有多个搅拌棒，所述搅拌棒固定设在搅拌轴外端，所述搅拌棒设在隔板一侧，所述叶轮箱内部设有多个叶轮，所述叶轮固定设在搅拌轴外端，所述叶轮箱底端固定设有进水管，所述进水管一端与反应箱另一侧固定连接。

进一步地，所述反应箱前侧固定设有回收管和残液排出管，所述回收管和残液排出管上均固定设有第二阀门，所述回收管和残液排出管分别设在阴离子交换膜两侧，所述反应箱前侧固定设有两个PH值检测仪，两个所述PH值检测仪分别设在阴离子交换膜两侧，所述安装板一侧固定设有密封垫，所述密封垫一侧与隔板相接触。

本实用新型的技术效果和优点：