[实用新型]一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统有效
申请号: | 202121345474.1 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN214992007U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 姜非 | 申请(专利权)人: | 蔻晶(上海)科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人: | 高红 |
地址: | 201699 上海市松江区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 高频 感应 单晶炉 速度 控制系统 | ||
本实用新型公开了一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,属于单晶炉配套技术领域,包括安装架和固定架,安装架的两侧均固定安装有升降板,升降板卡接在固定架的内部,固定架的底部固定安装有驱动电机,且驱动电机的输出端固定安装有螺纹管,螺纹管的内部螺纹连接有螺纹杆,且升降板转动安装在螺纹杆上,固定架的上端中间位置固定安装有螺纹套,螺纹杆的上端螺纹连接在螺纹套的内部,通过安装有速度感应器和压力感应器,在使用时,速度感应器感应到升降板移动的速度,压力感应器感应移动的距离,便于进行控制,且通过微调电机和驱动电机,便于对拉棒的移动效果进行精准控制,便于进行操作。
技术领域
本实用新型涉及一种拉晶控制装置,具体为一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,属于单晶炉配套技术领域。
背景技术
单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加,有显著的半导电性,单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,在进行使用时,需要进行拉晶,拉晶的速度是影响拉晶效果的重要因素之一,现代的拉晶方式大多采用行走电机带动拉棒进行移动,完成拉晶操作,但在使用时,不便于根据拉晶速度需要进行调节,不方便使用,且拉晶的速度和距离不便于进行控制。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,能够便于对拉棒的拉晶速度进行控制和拉晶的距离进行检测。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,包括安装架和固定架,所述安装架的两侧均固定安装有升降板,所述升降板卡接在所述固定架的内部,所述固定架的底部固定安装有驱动电机,且所述驱动电机的输出端固定安装有螺纹管,所述螺纹管的内部螺纹连接有螺纹杆,且所述升降板转动安装在所述螺纹杆上,所述固定架的上端中间位置固定安装有螺纹套,所述螺纹杆的上端螺纹连接在所述螺纹套的内部。
优选的,为了便于进行微调,所述固定架的两侧滑动卡接有升降架,且所述升降架为U型结构,所述升降架的内部上端固定安装有微调电机,所述微调电机的输出端与所述螺纹杆的上端相固定安装,所述螺纹杆的上端螺纹密度大于所述螺纹杆下端的螺纹密度。
优选的,为了便于所述升降架进行升降滑动,所述固定架的外表面两侧均开设有滑槽,且所述升降架通过所述滑槽滑动卡接在所述固定架上。
优选的,为了便于感应到所述升降板的移动速度,所述升降板的一侧转动安装有速度感应器,且所述速度感应器的一侧与所述固定架的内壁一侧相接触。
优选的,为了提高所述升降板在升降时的导向性,所述升降板的一侧插接有导向杆,且所述导向杆的上端固定安装在所述固定架的上端一侧。
优选的,为了便于感应到所述升降板升降的距离,所述升降板的上表面固定安装有压力感应器,且所述导向杆上套接有弹簧,所述弹簧的下端与所述压力感应器相固定连接,所述弹簧的上端与所述固定架的上端相固定连接。
优选的,为了便于对本实用新型内部的电气进行控制,所述固定架的一侧固定安装有控制器。
本实用新型的有益效果是:本实用新型通过安装有速度感应器和压力感应器,在使用时,速度感应器感应到升降板移动的速度,压力感应器感应移动的距离,便于进行控制,且通过微调电机和驱动电机,便于对拉棒的移动效果进行精准控制,便于进行操作。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
图2为本实用新型的整体结构示意图。
图3为本实用新型中局部的结构示意图。
图4为本实用新型中升降板的结构示意图。
图5为本实用新型的电性连接关系图。
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