[实用新型]一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统有效
申请号: | 202121345474.1 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN214992007U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 姜非 | 申请(专利权)人: | 蔻晶(上海)科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人: | 高红 |
地址: | 201699 上海市松江区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 高频 感应 单晶炉 速度 控制系统 | ||
1.一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,包括安装架(1)和固定架(2),其特征在于:所述安装架(1)的两侧均固定安装有升降板(3),所述升降板(3)卡接在所述固定架(2)的内部,所述固定架(2)的底部固定安装有驱动电机(4),且所述驱动电机(4)的输出端固定安装有螺纹管(5),所述螺纹管(5)的内部螺纹连接有螺纹杆(6),且所述升降板(3)转动安装在所述螺纹杆(6)上,所述固定架(2)的上端中间位置固定安装有螺纹套(7),所述螺纹杆(6)的上端螺纹连接在所述螺纹套(7)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,其特征在于:所述固定架(2)的两侧滑动卡接有升降架(8),且所述升降架(8)为U型结构,所述升降架(8)的内部上端固定安装有微调电机(9),所述微调电机(9)的输出端与所述螺纹杆(6)的上端相固定安装,所述螺纹杆(6)的上端螺纹密度大于所述螺纹杆(6)下端的螺纹密度。
3.根据权利要求2所述的一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,其特征在于:所述固定架(2)的外表面两侧均开设有滑槽(10),且所述升降架(8)通过所述滑槽(10)滑动卡接在所述固定架(2)上。
4.根据权利要求1所述的一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,其特征在于:所述升降板(3)的一侧转动安装有速度感应器(11),且所述速度感应器(11)的一侧与所述固定架(2)的内壁一侧相接触。
5.根据权利要求1所述的一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,其特征在于:所述升降板(3)的一侧插接有导向杆(12),且所述导向杆(12)的上端固定安装在所述固定架(2)的上端一侧。
6.根据权利要求5所述的一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,其特征在于:所述升降板(3)的上表面固定安装有压力感应器(13),且所述导向杆(12)上套接有弹簧(14),所述弹簧(14)的下端与所述压力感应器(13)相固定连接,所述弹簧(14)的上端与所述固定架(2)的上端相固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于高频感应单晶炉的拉晶速度控制系统,其特征在于:所述固定架(2)的一侧固定安装有控制器(15)。
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