[实用新型]一种晶圆解胶装置

权利要求书

1.一种晶圆解胶装置，包括解胶光源主箱(1)，其特征在于：所述解胶光源主箱(1)的上方开设有解胶腔(101)，所述解胶腔(101)的周边开设有气囊槽(102)，所述气囊槽(102)的周边开设有电磁槽(103)，所述气囊槽(102)的内部设置有橡胶气囊(2)，所述电磁槽(103)的内部固定连接有电磁铁(3)，所述解胶光源主箱(1)的一侧固定连接有解胶控制箱(4)，所述解胶光源主箱(1)的上方铰接有解胶盖(5)，所述解胶盖(5)的上方固定连接有加强框(6)，所述加强框(6)的前方固定连接有把手(7)，所述解胶盖(5)靠近解胶腔(101)的上方固定连接有照明光源总成(8)，所述解胶盖(5)靠近电磁槽(103)的下方固定连接有永久磁铁片(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶装置，其特征在于：所述永久磁铁片(9)的直径小于电磁槽(103)的孔径，所述永久磁铁片(9)的下表面与电磁铁(3)的表面之间设置有间距。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶装置，其特征在于：所述解胶控制箱(4)上表面的高度低于解胶光源主箱(1)上表面的高度，所述解胶盖(5)的长宽尺寸与解胶光源主箱(1)的长宽尺寸相同。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶装置，其特征在于：所述加强框(6)的长宽尺寸与解胶盖(5)的长宽尺寸相同，所述把手(7)位于加强框(6)前方的中部。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶装置，其特征在于：所述照明光源总成(8)包括光源安装筒(801)，所述光源安装筒(801)的下方固定连接有法兰(802)，所述光源安装筒(801)的顶壁固定连接有LED光源(803)，所述LED光源(803)的厚度远小于光源安装筒(801)的高度。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶装置，其特征在于：所述电磁铁(3)的数量为四个以圆周阵列的方式均匀的分布在橡胶气囊(2)的周边，所述橡胶气囊(2)为一个完整的圆环，所述橡胶气囊(2)的一侧设置有进气口，所述橡胶气囊(2)的另一侧设置有排气口。