[实用新型]太阳能电池

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，包括：

硅基体；

至少一个层对，设置在所述硅基体的表面上，

其中所述至少一个层对中每个层对包括：

氧化层，设置在所述层对的靠近所述硅基体的一侧；

掺杂硅膜层，设置在所述氧化层的远离所述硅基体的一侧，

其中所述至少一个层对中最靠近所述硅基体的所述氧化层的厚度大于所述至少一个层对中其他氧化层的厚度。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，在从所述硅基体的表面到远离所述硅基体的方向上，所述至少一个层对中所述氧化层的厚度依次递减。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述至少一个层对中除最靠近所述硅基体的氧化层外的所述其他氧化层的厚度相同。

4.根据权利要求2所述的太阳能电池，其特征在于，所述至少一个层对中，最外层的所述氧化层的厚度小于所述至少一个层对中其他氧化层的厚度。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述至少一个层对中最靠近所述硅基体的所述氧化层的厚度大于1.8nm且小于等于2.5nm，除去最靠近所述硅基体的所述氧化层的其他氧化层的厚度小于1.8nm。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池，其特征在于，所述硅基体是n型基体，所述掺杂硅膜层为n型掺杂硅膜层，在从所述硅基体的表面到远离所述硅基体的方向上，所述至少一个层对中所述n型掺杂硅膜层的n型掺杂剂的掺杂浓度逐渐增加。

7.根据权利要求5所述的太阳能电池，其特征在于，还包括：

电极，设置在所述至少一个层对的远离所述硅基体的一侧。

8.根据权利要求5所述的太阳能电池，其特征在于，所述至少一个层对的数量为2-50。