[实用新型]真空定位装置

说明书

本实用新型涉及一种真空定位装置，包括风机、气动控制阀及吹气组件，风机具有第一出风口和第一进风口；气动控制阀包括阀体、旋转阀芯及斜向导流板，阀体具有阀腔，阀体设有与阀腔连通的第一、第二、第三、第四及第五阀口；旋转阀芯具有内腔，斜向导流板设于内腔内且与旋转阀芯的旋转轴向倾斜设置，以将内腔分为第一腔室和第二腔室；旋转阀芯可转动地设于阀腔内，以使第一或第二腔室选择性地与第一阀口连通，第二及第四阀口能够与第一腔室连通，第三及第五阀口能够与第二腔室连通；第一出风口用于与第二阀口连通，第一进风口用于与第三阀口连通；吹吸组件具有吹吸腔体，吹吸腔体与第一阀口连通。如此具有较好的换向响应性能及较大的吹吸流体流量。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，特别是涉及一种真空定位装置。

背景技术

在薄膜加工的工艺中，常用到真空定位装置，以实现真空吸附薄膜及反向吹起薄膜功能。真空定位装置常需气动控制阀的配合，从而实现流体的自动换向，以实现真空吸附和正压吹气脱附。目前采用的气动控制阀存在流体截面直径较小导致流体的流量较小的问题；此外，传统的气动控制阀采用的是轴向直线驱动换向，轴向直线驱动的加减速冲击大，高速换向时需要考虑轴向直线运动对于结构的磨损问题，故而对于高速换向的响应不佳。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种具有较好的换向响应性能及较大的吹吸流体流量的真空定位装置。

一种真空定位装置，包括：

风机，具有第一出风口和第一进风口，所述风机用于提供正压或负压；

气动控制阀，包括阀体、斜向导流板及旋转阀芯；所述阀体具有阀腔，所述阀体设有与所述阀腔连通的第一阀口、第二阀口、第三阀口、第四阀口和第五阀口，所述第一阀口设于所述阀体的一侧，所述第二阀口和所述第二阀口设于所述阀体相对的另一侧，所述第二阀口和所述第三阀口均与所述第一阀口错开设置，所述第四阀口、所述第一阀口和所述第五阀口依次位于所述旋转阀芯的旋转轴向上；所述旋转阀芯具有内腔，所述斜向导流板设于所述内腔内且与所述旋转阀芯的旋转轴向倾斜设置，以将所述内腔分为第一腔室和第二腔室；所述旋转阀芯可转动地设于所述阀腔内，以使所述第一腔室或者所述第二腔室选择性地与所述第一阀口连通，所述第二阀口及所述第四阀口能够与所述第一腔室连通，所述第三阀口及所述第五阀口能够与所述第二腔室连通；所述风机的所述第一出风口用于与所述第二阀口连通，所述第一进风口用于与所述第三阀口连通；及

吹吸组件，具有吹吸腔体，所述吹吸腔体与所述第一阀口连通，以在所述风机提供的正压下进行吹气或在所述风机提供的负压下进行吸附定位。

在其中一些实施例中，所述真空定位装置还包括设于所述第一出风口与所述第二阀口之间的过滤组件，所述过滤组件设有第二进风口和第二出风口，所述第二进风口用于与所述风机的所述第一出风口连通，所述第二出风口用于与所述气动控制阀的所述第二阀口连通。

在其中一些实施例中，所述第二进风口设于所述过滤组件的底部，所述第二出风口设于所述过滤组件的顶部。

在其中一些实施例中，所述真空定位装置还包括设于所述吹吸腔体与所述第一阀口之间的转接组件，所述转接组件上设有总风口和与所述总风口连通的多个子风口；

所述第一阀口用于与所述总风口连通；所述吹吸腔体设有用于与所述多个子风口一一对应连通的多个转接口，所述吹吸腔体设有多个吹吸孔。

在其中一些实施例中，所述第二阀口与所述第四阀口相对，所述第三阀口与所述第五阀口相对。

在其中一些实施例中，所述真空定位装置还包括第一泄压气缸和第二泄压气缸，所述第一泄压气缸和所述第二泄压气缸分别设于所述第四阀口和所述第五阀口。

在其中一些实施例中，所述气动控制阀还包括密封圈，所述密封圈套设于所述旋转阀芯上且位于所述阀体与所述旋转阀芯之间。