[实用新型]一种OLED及基板清洗后风干装置有效

专利信息
申请号: 202121314639.9 申请日: 2021-06-15
公开(公告)号: CN214898367U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 高军鹏;康宏刚;李世杰;张立文 申请(专利权)人: 深圳市易天自动化设备股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683;H01L51/56;F26B15/12;F26B21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518104 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 oled 清洗 风干 装置
【权利要求书】:

1.一种OLED及基板清洗后风干装置,其特征在于:包括风干载台(2)、风干搬臂(3)及风干组件,其中,上述风干载台(2)包括二组,两组风干载台(2)沿直线方向间隔设置;上述风干搬臂(3)设置于风干载台(2)的侧部,并沿两组风干载台(2)设置方向直线延伸;上述风干组件沿风干载台(2)设置方向设置在风干载台(2)侧部,并延伸至风干载台(2)上方;风干载台(2)及风干搬臂(3)为镂空支撑结构,待风干的OLED基板放置在风干载台(2)上,风干搬臂(3)从下方穿过风干载台(2)托住OLED基板后上升至风干载台(2)上方,沿直线运动穿过风干组件进行风干后,风干搬臂(3)下降使OLED基板经风干载台(2)支撑,风干搬臂(3)由上而下穿过风干载台(2),并从风干载台(2)下方直线返回,托取下一组OLED基板。

2.根据权利要求1所述的一种OLED及基板清洗后风干装置,其特征在于:所述的风干载台(2)包括载台支座(21)、载台支架(22)、OLED承载部及FPC承载部,其中,上述载台支座(21)竖直设置在风干箱体内;上述载台支架(22)水平设置在载台支座(21)上,载台支架(22)为上下双层结构,载台支架(22)的中部形成有移动通道(A);上述OLED承载部设置在载台支架(22)的一侧,OLED及其基板经OLED承载部支撑并吸附固定,FPC承载部设置在载台支架(22)的另一侧,连接于OLED一侧的FPC经FPC承载部支撑,且OLED承载部及FPC承载部为上下镂空结构,以便搬移及上下风干OLED基板。

3.根据权利要求2所述的一种OLED及基板清洗后风干装置,其特征在于:所述的OLED承载部包括OLED承载板(23)、OLED支条(24)、真空接头(25)及OLED吸嘴(26),其中,上述OLED承载板(23)包括至少二块,OLED承载板(23)设置在载台支架(22)的内侧,OLED承载板(23)的中部设有通槽(B);上述OLED支条(24)包括至少二根,OLED支条(24)沿通槽(B)的两侧平行间隔地设置在OLED承载支板(23)上,相邻OLED支条(24)形成上下贯通的条状空隙,OLED支条(24)在OLED承载板(23)上形成OLED承载区域;上述OLED承载板(23)及OLED支条(24)内部分别设有气路,且OLED承载板(23)与OLED支条(24)的气路连通;上述真空接头(25)设置在OLED承载板(23)的侧部且与OLED承载板(23)内部气路连通;上述OLED吸嘴(26)包括至少二个,OLED吸嘴(26)设置在OLED支条(24)上,并与OLED支条(24)内部气路连通,OLED吸嘴(26)处产生真空负压以便向下吸附固定OLED基板。

4.根据权利要求3所述的一种OLED及基板清洗后风干装置,其特征在于:所述的FPC承载部包括FPC承载板(27),FPC承载板(27)包括至少二块,FPC承载板(27)对应OLED承载板(23)水平设置在承载支架(22)的外侧,FPC承载板(27)上开设有至少二条条状缝隙。

5.根据权利要求4所述的一种OLED及基板清洗后风干装置,其特征在于:所述的风干搬臂(3)包括直线模组(31)、滑座(32)、升降电机(33)、支撑部件、OLED搬移部件及FPC搬移部件,其中,上述直线模组(31)沿直线方向设置在风干载台(2)侧部;上述滑座(32)可滑动地连接在直线模组(31)上,经直线模组(31)驱动;上述升降电机(33)设置在滑座(32)一侧;上述支撑部件沿竖直方向可滑动地设置在滑座(32)的另一侧,且与升降电机(33)的输出端连接,升降电机(33)驱动支撑部件升降运动;上述OLED搬移部件设置在支撑部件的一侧,FPC搬移部件设置在支撑部件的另一侧;在第一组风干载台(2)处,OLED搬移部件及FPC搬移部件向上穿过风干载台的通槽(B)及条状缝隙,OLED搬移部件托住并吸附OLED,FPC搬移部件托住FPC,带动OLED及FPC同步直线移动经过风干组件风干OLED及FPC上下表面后,将OLED及FPC放置在缓存工位的风干载台(2)上;OLED搬移部件及FPC搬移部件穿过风干载台(2)的通槽(B)及条状缝隙下移至移动通道(A)内,并在移动通道(A)内直线返回至风干工位。

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