[实用新型]一种单晶炉加料装置有效
| 申请号: | 202121307984.X | 申请日: | 2021-06-11 |
| 公开(公告)号: | CN215404647U | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
| 发明(设计)人: | 陈湘伟;汪高峰;周洁 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 俞翠华 |
| 地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉 加料 装置 | ||
本实用新型公开了一种单晶炉加料装置,包括炉筒、炉盖和加料管;炉筒和炉盖共同形成容纳空间;炉盖或炉筒上设有加料口;加料管包括:固定板、上进料管、下进料管和挡环;固定板安装在加料口处;上进料管与固定板相连,其上端部设有漏斗型喇叭口;下进料管包括相连的第一段和第二段;第一段的内径大于上进料管的外径,且包裹在上进料管的外部,与上进料管共同形成套管结构;第二段的管径与上进料管的管径相同;挡环覆盖在第一段的端部,其内孔直径大于上进料管的外径,其外径大于下进料管的外径。本实用新型对单晶晶体生长影响小,且能够实现颗粒硅和循环破碎硅同时使用,大大降低生产成本。
技术领域
本实用新型属于硅材料制备技术领域,具体涉及一种单晶炉加料装置。
背景技术
单晶炉是晶硅太阳能生产的重要设备之一,在单晶产品生产过程中,用一个石英坩埚采用多次加料拉制多根单晶棒产品的工艺已经开始大规模应用。现有技术中的多次加料工艺大体分为二种:一种是采用圆形石英玻璃加料筒从单晶炉副室内吊入多晶硅料,添加入到石英坩埚的方式;另一种是采用外置加料设备通过在单晶炉内设计一根加料管为单晶炉加颗粒硅或破碎硅料的方式。
如图1所示,现有单晶炉生产设备的加料管主要由炉盖1、主炉筒2、外导流筒3、内导流筒4、(外导流筒3、内导流筒4装配成一体,成为“导流筒装配体”)加热器5、保温层6、保温筒7、导流筒提升装置9、导流筒支撑环8、进料管20,加料口21,插板阀22等构成,由于进料管20是一体设计,导流筒装配体无法提升,导致无法兼容圆形石英筒加料器的使用,无法实现颗粒硅和循环破碎硅同时使用问题,对降低成本不利。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型提出一种单晶炉加料装置,对单晶晶体生长影响小,且能够实现颗粒硅和循环破碎硅同时使用,大大降低生产成本。
为了实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型通过以下技术方案实现:
一种单晶炉加料装置,包括炉筒、炉盖和加料管;所述炉筒和炉盖共同形成容纳空间;所述炉盖或炉筒上设有加料口;所述加料管包括:
固定板,安装在加料口处;
上进料管,与所述固定板相连,其上端部设有漏斗型喇叭口;
下进料管,包括相连的第一段和第二段;所述第一段的内径大于所述上进料管的外径,且包裹在所述上进料管的外部,与所述上进料管共同形成套管结构;所述第二段的管径与所述上进料管的管径相同;
挡环,覆盖在所述第一段上远离第二段的端部,其内孔直径大于所述上进料管的外径,其外径大于下进料管的外径。
可选地,所述下进料管的第一段呈直线型;所述下进料管的第二段呈折线性。
可选地,所述第一段的内径比上进料管的外径大10-20mm。
可选地,所述第一段的长度为100-200mm。
可选地,所述挡环的内孔直径比上进料管的外径大1-2mm,其外径比下进料管大20-30mm。
可选地,所述加料口处设有插板阀。
可选地,所述上进料管位于所述容纳空间内,其上部的漏斗型喇叭口位于所述加料口处;所述固定板上设有贯通孔,所述上进料管上除漏斗型喇叭口以外的部分均穿过所述贯通孔。
可选地,所述单晶炉加料装置还包括设于所述炉筒内的:
坩埚;
同轴设置的外导流筒和内导流筒,二者之间填充有保温层,形成导流筒装配体;所述导流筒装配体位于所述坩埚上方,且与所述下进料管相连;
导流筒提升装置,与所述导流筒装配体相连,带动所述导流筒装配体运动,运动过程中,所述上进料管与下进料管始终保持套管结构;
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