[实用新型]一种单晶炉加料装置

权利要求书

1.一种单晶炉加料装置，其特征在于，包括炉筒、炉盖和加料管；所述炉筒和炉盖共同形成容纳空间；所述炉盖或炉筒上设有加料口；所述加料管包括：

固定板，安装在加料口处；

上进料管，与所述固定板相连，其上端部设有漏斗型喇叭口；

下进料管，包括相连的第一段和第二段；所述第一段的内径大于所述上进料管的外径，且包裹在所述上进料管的外部，与所述上进料管共同形成套管结构；所述第二段的管径与所述上进料管的管径相同；

挡环，覆盖在所述第一段上远离第二段的端部，其内孔直径大于所述上进料管的外径，其外径大于下进料管的外径。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于：所述下进料管的第一段呈直线型；所述下进料管的第二段呈折线性。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于：所述第一段的内径比上进料管的外径大10-20mm；所述第一段的长度为100-200mm。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于：所述挡环的内孔直径比上进料管的外径大1-2mm，其外径比下进料管大20-30mm。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于，所述加料口处设有插板阀。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于，所述上进料管位于所述容纳空间内，其上部的漏斗型喇叭口位于所述加料口处；所述固定板上设有贯通孔，所述上进料管上除漏斗型喇叭口以外的部分均穿过所述贯通孔。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于，所述单晶炉加料装置还包括设于所述炉筒内的：

坩埚；

同轴设置的外导流筒和内导流筒，二者之间填充有保温层，形成导流筒装配体；所述导流筒装配体位于所述坩埚上方，且与所述下进料管相连；

导流筒提升装置，与所述导流筒装配体相连，带动所述导流筒装配体运动，运动过程中，所述上进料管与下进料管始终保持套管结构；

加热器，设于所述坩埚外侧；

保温筒，设于所述坩埚和加热器外侧。

8.根据权利要求7所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于：所述保温筒的外部套设有保温层。

9.根据权利要求7所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于：所述导流筒装配体上设有导流筒支撑环，所述导流筒支撑环还搭设在所述保温筒上，用于将导流筒装配体悬挂在坩埚上方。

10.根据权利要求7所述的一种单晶炉加料装置，其特征在于：所述单晶炉加料装置还包括加料筒，与所述炉盖为活动连接，所述加料筒的部分贯穿所述炉盖，并伸入至所述内导流筒的内部，将硅料加入到坩埚中。