[实用新型]一种用于芯片制造中抽检装置有效
| 申请号： | 202121306773.4 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN215266210U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 南京国科半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211806 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 制造 抽检 装置 | ||
1.一种用于芯片制造中抽检装置，包括U型板(1)，其特征在于，所述U型板(1)的底端水平部位插设在循环传动带之间，所述U型板(1)的顶端水平部位上开设有长条槽(2)，所述长条槽(2)的内部通过轴承转动设置有与长条槽(2)平行的往复螺杆(3)，所述往复螺杆(3)的一端贯穿U型板(1)且固定连接有驱动电机(4)，所述长条槽(2)的内部滑动设置有方形滑块(5)，所述方形滑块(5)的上下两面固定焊接有限位板(6)，所述限位板(6)与U型板(1)滑动抵压接触，所述往复螺杆(3)贯穿方形滑块(5)且往复螺杆(3)与方形滑块(5)之间螺纹连接，位于所述方形滑块(5)下方的限位板(6)底面固定焊接有连接块(7)，所述连接块(7)上固定安装有毛刷(8)，所述毛刷(8)与循环传动带的顶面之间滑动接触，所述U型板(1)的底端水平部位顶面固定焊接有方框(9)，所述U型板(1)底端的四个拐角处固定安装有电动伸缩杆(10)，所述电动伸缩杆(10)的底端固定安装有万向轮(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造中抽检装置，其特征在于，四个所述电动伸缩杆(10)均由同一开关控制。
3.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造中抽检装置，其特征在于，所述万向轮(11)带有驻车功能。
4.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造中抽检装置，其特征在于，所述方框(9)的宽度大于循环传动带的宽度。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
