[实用新型]一种SC切晶片圆周面抛光设备

权利要求书

1.一种SC切晶片圆周面抛光设备，其特征是，所述抛光设备包括工作台(5)、驱动电机(6)、传动机构(7)、抛光上盘(1)、抛光下盘(3)和行星轮系；所述工作台(5)布置在水平地面上，在工作台(5)的台面上方布置抛光下盘(3)及抛光上盘(1)，在工作台(5)的台面下方布置驱动电机(6)；所述驱动电机(6)通过传动机构(7)带动抛光下盘(3)和抛光上盘(1)旋转，抛光下盘(3)和抛光上盘(1)相对布置，两者旋转方向相反，并在抛光下盘(3)和抛光上盘(1)之间布置行星轮系；所述行星轮系设有齿圈(4)、游轮(2)和太阳轮(9)，所述齿圈(4)固定在工作台(5)的台面上，所述太阳轮(9)与抛光下盘(3)同轴装配，所述游轮(2)与齿圈(4)内啮合传动，游轮(2)与太阳轮(9)外啮合传动，在游轮(2)上设置矩形长孔(2-1)，在游轮(2)的矩形长孔(2-1)中以间隙配合方式装配晶坨工件(8)。

2.根据权利要求1所述的SC切晶片圆周面抛光设备，其特征是，所述传动机构(7)采用齿轮传动方式，包括第一齿轮传动组件(7-1)和第二齿轮传动组件(7-2)，在第二齿轮传动组件(7-2)中设有换向轮，通过第一齿轮传动组件(7-1)和第二齿轮传动组件(7-2)配合实现抛光下盘(3)和抛光上盘(1)的同步反向旋转。

3.根据权利要求2所述的SC切晶片圆周面抛光设备，其特征是，所述抛光下盘(3)采用球墨铸铁材质；所述抛光上盘(1)采用铝合金材质；所述游轮(2)采用酚醛树脂材质。

4.根据权利要求3所述的SC切晶片圆周面抛光设备，其特征是，所述游轮(2)的数量为六组，它们在齿圈(4)与太阳轮(9)之间的环状空间均匀布置。

5.根据权利要求4所述的SC切晶片圆周面抛光设备，其特征是，在每一组游轮(2)上设置四组矩形长孔。