[实用新型]一种出片腔结构及PECVD设备

权利要求书

1.一种出片腔结构，包括设有容置腔的壳体，其特征在于，

所述容置腔内设有至少两个冷却组件，所述冷却组件之间形成适于工件穿过的冷却通道。

2.如权利要求1所述的出片腔结构，其特征在于，

两个所述冷却组件均采用第一冷却组件；或

两个所述冷却组件均采用第二冷却组件；或

两个所述冷却组件分别采用第一冷却组件和第二冷却组件。

3.如权利要求2所述的出片腔结构，其特征在于，所述第一冷却组件包括：第一冷却水道，所述第一冷却水道设于所述壳体内部；所述第一冷却水道呈朝向同一方向延伸的“S”形，以平铺在壳体的内部。

4.如权利要求2所述的出片腔结构，其特征在于，所述第二冷却组件包括：水冷板，其表面设有安装槽并凸设于所述容置腔内；

第二冷却水管，设于所述安装槽内且所述第二冷却水管的进水口与出水口均伸出所述壳体外部；以及

固定件，设于所述壳体外侧用于固定所述第二冷却水管的进水口和出水口。

5.如权利要求4所述的出片腔结构，其特征在于，所述安装槽呈“S”形且沿着水冷板的周侧延伸，设置于所述水冷板上表面和/或下表面。

6.如权利要求4所述的出片腔结构，其特征在于，所述固定件包括：

套接于第二冷却水管上并抵接于所述壳体外壁的第一固定部，

套接于第二冷却水管并抵接于所述第一固定部的第二固定部；

以及将所述第一固定部、第二固定部可拆卸连接于所述壳体外壁的连接件。

7.如权利要求6所述的出片腔结构，其特征在于，所述第一固定部与所述壳体外壁之间设有第一密封件，所述第一密封件用于密封第一固定部与所述壳体外壁之间的间隙；

所述第二固定部与所述第一固定部之间设有第二密封件，所述第二密封件用于密封第一固定部与第二冷却水管之间的间隙。

8.如权利要求4所述的出片腔结构，其特征在于，所述第二冷却组件还包括：卡套接头，所述卡套接头套接于第二冷却水管；

卡套本体，套接于所述第二冷却水管的进水口和/或出水口并连接于所述卡套接头；以及

卡环，设于所述卡套接头与所述卡套本体之间，所述卡套本体与所述卡套接头连接时挤压所述卡环，使所述卡环紧密贴合于所述第二冷却水管表面。

9.如权利要求1所述的出片腔结构，其特征在于，还包括吸热膜层，形成于所述冷却组件表面，用于促进冷却组件与被冷却件之间的辐射换热。

10.一种PECVD设备，其特征在于，包括工艺腔和设于所述工艺腔出口处用于对所述工艺腔中加工部件进行降温的如权利要求1至8中任意一项所述的出片腔结构。