[实用新型]一种便于清理的硅片切片加工用防护装置

说明书

本实用新型公开了一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，涉及硅片加工辅助设备技术领域。本实用新型包括防护罩，防护罩的内部滑动连接有内壁清理机构，用以对防护罩的内壁进行清理，内壁清理机构的一侧固定连接有传动圆杆，防护罩的一侧开设有与传动圆杆相适应的导向槽，传动圆杆滑动连接在导向槽的内部，内壁清理机构包括有清洁板支架，清洁板支架的内部滑动连接有内壁清洁板。本实用新型通过在防护罩的内部设置内壁清理机构，能够较为简单的对防护罩的内壁进行清理，从而大大的降低清理的难度，通过内壁清理机构各个配件的配合，能够使内壁清洁板和防护罩的内壁始终贴合，从而大大的提升清理的效果。

技术领域

本实用新型属于硅片加工辅助设备技术领域，特别是涉及一种便于清理的硅片切片加工用防护装置。

背景技术

硅片是作为半导体领域最基础的材料，在其上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，在对硅片进行切片的过程中通常会设置有防护装置防止火星溅射，但现有防护装置在使用完成后对其内壁进行清理时难度较大，且清理的效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，以解决了现有的问题：现有防护装置在使用完成后对其内壁进行清理时难度较大。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，包括防护罩，所述防护罩的内部滑动连接有内壁清理机构，用以对防护罩的内壁进行清理；

所述内壁清理机构的一侧固定连接有传动圆杆，所述防护罩的一侧开设有与传动圆杆相适应的导向槽，所述传动圆杆滑动连接在导向槽的内部。

进一步地，所述内壁清理机构包括有清洁板支架，所述清洁板支架的内部滑动连接有内壁清洁板，所述清洁板支架的内部还固定连接有多个弹簧定位杆，所述弹簧定位杆和内壁清洁板滑动连接，所述弹簧定位杆的外侧套接有复位弹簧，且所述复位弹簧位于清洁板支架和内壁清洁板之间。

进一步地，所述防护罩两侧的内壁均开设有导轨，所述内壁清理机构的两侧固定连接有限位圆杆，所述限位圆杆滑动连接在导轨的内部。

进一步地，所述防护罩的一侧还设置有传动机构，所述传动机构用以带动传动圆杆在导向槽的内部进行移动。

进一步地，所述传动机构包括有限位圈和两个固定支架，所述限位圈固定在防护罩的一侧，所述限位圈的中间位置转动连接有转动轴杆，所述转动轴杆的外侧固定连接有导向板和从动涡轮，所述导向板内部的一端开设有滑动腔，所述传动圆杆滑动连接在滑动腔的内部；

两个所述固定支架同样固定在防护罩的一侧，两个所述固定支架之间转动连接有传动蜗杆，所述传动蜗杆和从动涡轮啮合连接。

进一步地，所述传动蜗杆的一端固定连接有旋钮。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过在防护罩的内部设置内壁清理机构，能够较为简单的对防护罩的内壁进行清理，从而大大的降低清理的难度。

2、本实用新型通过内壁清理机构各个配件的配合，能够使内壁清洁板和防护罩的内壁始终贴合，从而大大的提升清理的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种便于清理的硅片切片加工用防护装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种便于清理的硅片切片加工用防护装置的局部剖切结构示意图；