[实用新型]一种便于清理的硅片切片加工用防护装置

权利要求书

1.一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，包括防护罩(1)，其特征在于，所述防护罩(1)的内部滑动连接有内壁清理机构(3)，用以对防护罩(1)的内壁进行清理；

所述内壁清理机构(3)的一侧固定连接有传动圆杆(4)，所述防护罩(1)的一侧开设有与传动圆杆(4)相适应的导向槽(5)，所述传动圆杆(4)滑动连接在导向槽(5)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，其特征在于，所述内壁清理机构(3)包括有清洁板支架(16)，所述清洁板支架(16)的内部滑动连接有内壁清洁板(17)，所述清洁板支架(16)的内部还固定连接有多个弹簧定位杆(18)，所述弹簧定位杆(18)和内壁清洁板(17)滑动连接，所述弹簧定位杆(18)的外侧套接有复位弹簧(19)，且所述复位弹簧(19)位于清洁板支架(16)和内壁清洁板(17)之间。

3.根据权利要求2所述的一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，其特征在于，所述防护罩(1)两侧的内壁均开设有导轨(2)，所述内壁清理机构(3)的两侧固定连接有限位圆杆(7)，所述限位圆杆(7)滑动连接在导轨(2)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，其特征在于，所述防护罩(1)的一侧还设置有传动机构(6)，所述传动机构(6)用以带动传动圆杆(4)在导向槽(5)的内部进行移动。

5.根据权利要求4所述的一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，其特征在于，所述传动机构(6)包括有限位圈(8)和两个固定支架(14)，所述限位圈(8)固定在防护罩(1)的一侧，所述限位圈(8)的中间位置转动连接有转动轴杆(9)，所述转动轴杆(9)的外侧固定连接有导向板(10)和从动涡轮(12)，所述导向板(10)内部的一端开设有滑动腔(11)，所述传动圆杆(4)滑动连接在滑动腔(11)的内部；

两个所述固定支架(14)同样固定在防护罩(1)的一侧，两个所述固定支架(14)之间转动连接有传动蜗杆(13)，所述传动蜗杆(13)和从动涡轮(12)啮合连接。

6.根据权利要求5所述的一种便于清理的硅片切片加工用防护装置，其特征在于，所述传动蜗杆(13)的一端固定连接有旋钮(15)。