[实用新型]具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机

权利要求书

1.具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机，包括检测台(1)，其特征在于：所述检测台(1)的上表面设有检测孔(2)，所述检测孔(2)内设有位置方向检测板(3)，所述方向检测板(3)内设有光敏电阻(4)，所述检测台(1)上表面的一端固定连接有支撑立杆(5)，所述支撑立杆(5)顶部的侧面固定连接有支撑梁(6)，所述支撑梁(6)一端的下表面固定连接有滑动安装箱(7)，所述滑动安装箱(7)的底部滑动连接有滑动安装块(8)，所述滑动安装块(8)的底部固定连接有电动伸缩杆(9)，所述电动伸缩杆(9)的另一端固定连接有抓取臂(10)，所述检测台(1)的底部固定连接有支撑立板(11)，所述支撑立板(11)上转动连接有两个安装轴(12)，所述支撑立板(11)的侧车门位于两个安装轴(12)之间固定连接有安装板(13)，所述安装板(13)上固定连接有贴膜机构(14)。

2.根据权利要求1所述的具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机，其特征在于：所述抓取臂(10)包括横板(1001)，所述横板(1001)上表面的一端设有转动电机(1002)，所述横板(1001)下表面的一端转动连接有抓取吸盘(1003)，所述横板(1001)下表面的另一端转动连接有下料吸盘(1004)，所述横板(1001)的上表面固定连接有真空泵(1005)。

3.根据权利要求2所述的具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机，其特征在于：所述转动电机(1002)的输出端与抓取吸盘(1003)固定连接，所述真空泵(1005)通过气管分别与抓取吸盘(1003)和下料吸盘(1004)相连通。

4.根据权利要求2所述的具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机，其特征在于：所述横板(1001)的下表面位于抓取吸盘(1003)的四周设有光源槽(15)，所述光源槽(15)的位置与光敏电阻(4)的位置相对应。

5.根据权利要求1所述的具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机，其特征在于：所述滑动安装箱(7)内表面的侧壁上转动连接有传动丝杠(16)，所述滑动安装箱(7)的一端设有驱动电机(17)，所述驱动电机(17)的输出端与传动丝杠(16)固定连接，所述滑动安装块(8)通过其上的螺纹孔与传动丝杠(16)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的具有晶圆放置方向检测装置的晶圆贴膜机，其特征在于：所述贴膜机构(14)包括电动推杆(1401)，所述电动推杆(1401)的输出端固定连接有插接盒(1402)，所述插接盒(1402)内表面的底部固定连接有控制开关(1403)，所述插接盒(1402)的顶部插接有插杆(1404)，所述插杆(1404)的另一端固定连接有贴膜压板(1405)，所述插杆(1404)的外表面套接有加压弹簧(1406)。