[实用新型]半导体晶片清洗夹具

权利要求书

1.一种半导体晶片清洗夹具，其特征在于，包括：

两个底杆；

两个侧杆，各侧杆的端部之一与所述底杆之一的一个中间位置相连；

一个主杆，其两个端部与所述两个侧杆的另一个端部相连；以及

一个横杆，位于主杆之下，其两端分别与两个所述侧杆连接，以及

其中，所述横杆为弧顶朝上的弧形。

2.根据权利要求1所述的半导体晶片清洗夹具，其特征在于，所述底杆、侧杆、主杆为直线形状。

3.根据权利要求1或2所述的半导体晶片清洗夹具，其特征在于，所述底杆、侧杆、主杆和横杆具有相同的横截面。

4.根据权利要求1或2所述的半导体晶片清洗夹具，其特征在于，两个底杆相同，两个侧杆也相同。

5.根据权利要求1或2所述的半导体晶片清洗夹具，其特征在于，所述主杆长度略大于所述横杆在两个侧杆之间的直线长度，以便使两个所述侧杆下端向内倾斜，与竖直方向的夹角为0-5°，但是不包括0°。

6.根据权利要求1或2所述的半导体晶片清洗夹具，其特征在于，所述横杆与所述侧杆采用过渡圆弧连接的结构。

7.根据权利要求1或2所述的半导体晶片清洗夹具，其特征在于，所述横杆在向下一侧开有向内凹陷的引流槽。

8.根据权利要求1或2所述的半导体晶片清洗夹具，其特征在于，所述横杆的下侧及左右侧均开有向内凹陷的引流槽。