[实用新型]一种空化器

权利要求书

1.一种空化器，设置于蚀刻机的循环系统中，用于保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，其特征在于：所述蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，所述空化器包括密封连接的混合装置和气泡破裂装置，所述混合装置连通所述容纳池的下端，所述气泡破裂装置连通所述容纳池的上端，所述混合装置内设有朝向所述气泡破裂装置的混合喷嘴，所述混合装置的外侧设有多个连通所述混合喷嘴且用于注入气体和蚀刻成分剂的注入接头，所述气泡破裂装置内设有使气泡发生破裂的挡板组件。

2.根据权利要求1所述的空化器，其特征在于：所述气泡破裂装置的一端插装于所述混合装置的一端，所述气泡破裂装置和混合装置的插装位置上设有密封垫圈。

3.根据权利要求1所述的空化器，其特征在于：所述气泡破裂装置和混合装置的外侧连接处设有锁紧件。

4.根据权利要求3所述的空化器，其特征在于：所述锁紧件为锁紧螺母，所述锁紧螺母的一端螺纹连接于所述混合装置的外侧，所述锁紧螺母的另一端向内侧方向设有环形压装部，所述气泡破裂装置连接所述混合装置的一端设有环形凸起，所述环形压装部与所述环形凸起相互抵压固定。

5.根据权利要求1所述的空化器，其特征在于：所述注入接头包括注气接头、注水接头以及注盐酸接头，所述注气接头、注水接头以及注盐酸接头圆周均匀分布在所述混合装置上。

6.根据权利要求1所述的空化器，其特征在于：所述挡板组件设置在所述气泡破裂装置内临近所述混合装置的一端，所述气泡破裂装置内的另一端为溶液平稳腔。

7.根据权利要求1所述的空化器，其特征在于：所述挡板组件包括直杆和多个挡板，所述直杆的一端卡装在所述气泡破裂装置内临近所述混合装置的一端，多个所述挡板并排间隔设置在所述直杆的另一端。

8.根据权利要求7所述的空化器，其特征在于：多个所述挡板可移动安装在所述直杆上。

9.根据权利要求7所述的空化器，其特征在于：多个所述挡板沿溶液流动方向依次增大设置。

10.根据权利要求1所述的空化器，其特征在于：所述混合装置连通所述容纳池的一端设有内凹接口，所述气泡破裂装置连通所述容纳池的一端设有外凸接头。