[实用新型]一种具有均匀分散喷头的坩埚盖有效
申请号: | 202121165323.8 | 申请日: | 2021-05-27 |
公开(公告)号: | CN214830626U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 陈景升;张正才;岳彩玉 | 申请(专利权)人: | 江苏微迈思半导体科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 周鑫 |
地址: | 221000 江苏省常州市经济技术开*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 均匀 分散 喷头 坩埚 | ||
本实用新型公开了一种具有均匀分散喷头的坩埚盖,涉及坩埚技术领域,具体为一种具有均匀分散喷头的坩埚盖,包括坩埚盖本体、坩埚本体,所述坩埚盖本体的表面开设有喷头孔。该具有均匀分散喷头的坩埚盖,通过喷头孔、第一盖板、第二盖板、第三盖板和堵头的配合使用,当需要进行喷镀时,根据蒸镀材料的大小,从而选择性取走第三盖板、第二盖板或第一盖板,带动堵头从喷头孔的内腔抽出,从而漏出合适的喷头大小,避免了传统的具有均匀分散喷头的坩埚盖不能根据实际需要调整喷头的使用区域,导致喷镀蒸气喷镀到喷镀材料其它区域的问题,提高了该具有均匀分散喷头的坩埚盖的实用性。
技术领域
本实用新型涉及坩埚技术领域,具体为一种具有均匀分散喷头的坩埚盖。
背景技术
OLED又称为有机电激光显示、有机发光半导体,属于一种电流型的有机发光器件,是通过载流子的注入和复合而致发光的现象,发光强度与注入的电流成正比,在OLED加工的过程中需要用到坩埚对OLED材料进行蒸镀,为了保证OLED表面蒸镀的均匀性,需要在蒸镀蒸气穿过坩埚盖时对蒸气进行均匀分散,但是现有的具有均匀分散喷头的坩埚盖不能根据实际需要调整喷头的使用区域,导致喷镀蒸气喷镀到喷镀材料其它区域,同时现有的具有均匀分散喷头的坩埚盖在喷镀的温度还没有达到要求时就把蒸气放出,喷镀到喷镀材料的表面上影响喷镀的质量,达不到现今使用的要求,因此我们提出了一种具有均匀分散喷头的坩埚盖。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种具有均匀分散喷头的坩埚盖,解决了上述背景技术中提出的问题。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种具有均匀分散喷头的坩埚盖,包括坩埚盖本体、坩埚本体,所述坩埚盖本体的表面开设有喷头孔,所述喷头孔的数量为多个且均匀分布在坩埚盖本体的表面,所述坩埚盖本体的内部设置有加热丝,所述坩埚盖本体的表面放置有第一盖板,所述第一盖板的表面开设有第一放置槽,所述第一放置槽的内壁固定连接有第一支撑块,所述第一支撑块的表面且位于第一放置槽的内腔放置有第二盖板,所述第二盖板的表面开设有第二放置槽,所述第二放置槽的内壁固定连接有第二支撑块,所述第二支撑块的表面且位于第二放置槽的内腔放置有第三盖板,所述第一盖板、第二盖板和第三盖板的底面均固定连接有堵头,所述堵头的一端贯穿喷头孔的内腔且延伸至坩埚盖本体的底部,所述堵头的侧面与喷头孔的内壁相贴合。
优选的,一个所述堵头的顶端设置有温度传感器,所述第三盖板的表面固定安装有数字显示板,所述温度传感器和数字显示板电性连接。
优选的,所述坩埚盖本体的底部开设有扣合槽,所述坩埚本体的顶部延伸至扣合槽的内腔。
优选的,所述第一盖板、第二盖板、第三盖板的表面分别固定安装有盖板提手。
优选的,所述坩埚盖本体的两侧面均固定安装有坩埚盖提手。
优选的,所述第一盖板、第二盖板和第三盖板的表面位于同一平面。
本实用新型提供了一种具有均匀分散喷头的坩埚盖,具备以下有益效果:
1、该具有均匀分散喷头的坩埚盖,通过喷头孔、第一盖板、第二盖板、第三盖板和堵头的配合使用,当需要进行喷镀时,根据蒸镀材料的大小,从而选择性取走第三盖板、第二盖板或第一盖板,带动堵头从喷头孔的内腔抽出,从而漏出合适的喷头大小,避免了传统的具有均匀分散喷头的坩埚盖不能根据实际需要调整喷头的使用区域,导致喷镀蒸气喷镀到喷镀材料其它区域的问题,提高了该具有均匀分散喷头的坩埚盖的实用性。
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