[实用新型]一种具有均匀分散喷头的坩埚盖有效
| 申请号： | 202121165323.8 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN214830626U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 陈景升;张正才;岳彩玉 | 申请（专利权）人： | 江苏微迈思半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 周鑫 |
| 地址： | 221000 江苏省常州市经济技术开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 均匀 分散 喷头 坩埚 | ||
1.一种具有均匀分散喷头的坩埚盖，包括坩埚盖本体(1)、坩埚本体(2)，其特征在于：所述坩埚盖本体(1)的表面开设有喷头孔(3)，所述喷头孔(3)的数量为多个且均匀分布在坩埚盖本体(1)的表面，所述坩埚盖本体(1)的内部设置有加热丝(4)，所述坩埚盖本体(1)的表面放置有第一盖板(5)，所述第一盖板(5)的表面开设有第一放置槽(8)，所述第一放置槽(8)的内壁固定连接有第一支撑块(10)，所述第一支撑块(10)的表面且位于第一放置槽(8)的内腔放置有第二盖板(6)，所述第二盖板(6)的表面开设有第二放置槽(9)，所述第二放置槽(9)的内壁固定连接有第二支撑块(11)，所述第二支撑块(11)的表面且位于第二放置槽(9)的内腔放置有第三盖板(7)，所述第一盖板(5)、第二盖板(6)和第三盖板(7)的底面均固定连接有堵头(13)，所述堵头(13)的一端贯穿喷头孔(3)的内腔且延伸至坩埚盖本体(1)的底部，所述堵头(13)的侧面与喷头孔(3)的内壁相贴合。
2.根据权利要求1所述的一种具有均匀分散喷头的坩埚盖，其特征在于：一个所述堵头(13)的顶端设置有温度传感器(12)，所述第三盖板(7)的表面固定安装有数字显示板(17)，所述温度传感器(12)和数字显示板(17)电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种具有均匀分散喷头的坩埚盖，其特征在于：所述坩埚盖本体(1)的底部开设有扣合槽(16)，所述坩埚本体(2)的顶部延伸至扣合槽(16)的内腔。
4.根据权利要求1所述的一种具有均匀分散喷头的坩埚盖，其特征在于：所述第一盖板(5)、第二盖板(6)、第三盖板(7)的表面分别固定安装有盖板提手(14)。
5.根据权利要求1所述的一种具有均匀分散喷头的坩埚盖，其特征在于：所述坩埚盖本体(1)的两侧面均固定安装有坩埚盖提手(15)。
6.根据权利要求1所述的一种具有均匀分散喷头的坩埚盖，其特征在于：所述第一盖板(5)、第二盖板(6)和第三盖板(7)的表面位于同一平面。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏微迈思半导体科技有限公司，未经江苏微迈思半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121165323.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种承载安全的斜齿轮减速电机
- 下一篇：一种沥青混合料制备装置
- 同类专利
- 专利分类
