[实用新型]一种镀膜载板有效
| 申请号： | 202121152629.X | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN215560655U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 吴建晓 | 申请（专利权）人： | 安徽华晟新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 彭一波 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
1.一种镀膜载板，包括载板本体，所述载板本体上设置有至少一个容置槽；其特征在于，
紧贴所述容置槽的至少部分侧壁设置有支撑构件，所述支撑构件用于承载待镀膜件；
所述容置槽的底部设有支柱，且所述支柱的高度不大于所述支撑构件的高度。
2.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述支撑构件为设置在所述容置槽的侧壁底部的台阶状构件。
3.根据权利要求2所述的镀膜载板，其特征在于，所述台阶状构件的高度小于所述容置槽的侧壁的高度，所述容置槽的侧壁与所述台阶状构件的上边沿相接且相接面为倾斜面。
4.根据权利要求3所述的镀膜载板，其特征在于，所述倾斜面的倾角范围为40°-60°。
5.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述支柱的上表面设置有特氟龙涂层。
6.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述容置槽底部设置的所述支柱个数至少为1个，且所述支柱在所述容置槽的底部均匀分布。
7.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜载板，其特征在于，所述容置槽的边角处设置为倒角结构。
8.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜载板，其特征在于，所述支柱的形状设置为圆台形、圆柱形、棱台形和棱柱形中的任意一种或几种。
9.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜载板，其特征在于，所述待镀膜件为硅片或经过前序处理的硅片。
10.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜载板，其特征在于，所述载板本体为石墨、玻璃或金属材料制成。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
