[实用新型]一种存储芯片晶元放大检测仪器有效
申请号: | 202121142718.6 | 申请日: | 2021-05-26 |
公开(公告)号: | CN215066258U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 施智明;李阳;李晓婉;钱青云;李静妮 | 申请(专利权)人: | 苏州科技大学 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G01N21/01;H01L21/66 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 朱广 |
地址: | 215009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 存储 芯片 放大 检测 仪器 | ||
1.一种存储芯片晶元放大检测仪器,其特征在于,包括:
底座(1),所述底座(1)的上端开设有矩形槽(2),所述矩形槽(2)的上侧设置有检测板(3),所述底座(1)的侧端固定连接有安装块(5);
移动观测台(17),所述移动观测台(17)设置于安装块(5)的一侧,所述移动观测台(17)的上端和下端分别固定连接有目镜(10)和放大镜(8);
上升机构,所述上升机构设置于矩形槽(2)内并与检测板(3)连接以实现检测板(3)的升降;以及
移动机构,所述移动机构与移动观测台(17)连接以实现移动观测台(17)的上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种存储芯片晶元放大检测仪器,其特征在于:所述上升机构包括滑槽(11)、弹簧(16)、两个螺杆(15)、两个滑块(12)、移动台(13)和两个支杆(14),所述滑槽(11)开设于矩形槽(2)的下内壁,两个所述滑块(12)均滑动连接于滑槽(11)内,两个所述支杆(14)分别活动铰接于两个滑块(12)的上端,所述移动台(13)活动铰接于两个支杆(14)的上端,所述弹簧(16)固定连接于两个滑块(12)之间,两个所述螺杆(15)分别设置于底座(1)的前后两端,且两个螺杆(15)的相靠近端分别转动贯穿滑槽(11)的前后内壁并与两个滑块(12)的相远离端接触;所述检测板(3)通过四个连接杆固定连接于移动台(13)的上端。
3.根据权利要求2所述的一种存储芯片晶元放大检测仪器,其特征在于:所述移动机构包括丝杆(6)、丝杆槽(7)和电机,所述丝杆槽(7)开设于安装块(5)的侧端,所述电机固定连接于丝杆槽(7)的下内壁,所述丝杆(6)固定连接于电机的输出端;所述移动观测台(17)通过丝杆螺母螺纹连接于丝杆(6)的圆周表面。
4.根据权利要求3所述的一种存储芯片晶元放大检测仪器,其特征在于:所述底座(1)的前后内壁之间固定连接有限位杆,两个所述滑块(12)均滑动连接于限位杆的圆周表面。
5.根据权利要求4所述的一种存储芯片晶元放大检测仪器,其特征在于:所述底座(1)的上端固定连接有两个伸缩杆,两个所述伸缩杆的上端均活动铰接有补光器(4)。
6.根据权利要求5所述的一种存储芯片晶元放大检测仪器,其特征在于:所述移动观测台(17)的前后两端均固定连接有电源控制器(9),两个所述电源控制器(9)均与电机之间信号连接。
7.根据权利要求6所述的一种存储芯片晶元放大检测仪器,其特征在于:两个所述螺杆(15)的相远离端均固定连接有防滑套。
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