[实用新型]一种晶圆甩干机

说明书

本实用新型公开了一种晶圆甩干机，包括机体，所述机体的底部四角均焊接有支撑脚，所述机体的中间设置有甩干箱，所述甩干箱的表面一侧中间通过合页铰接有箱门，且箱门中间安装有视窗，所述甩干箱的内壁底部安装有导水斜座，所述导水斜座的顶部中间安装有双轴电机，所述双轴电机的输出端与转轴连接，所述甩干箱的内壁顶部安装有固定轴，且转轴和固定轴两端均固定套接有齿轮，所述甩干箱的内壁一侧中间焊接有安装座，所述安装座一端安装有甩干筒，所述甩干筒表面两端均固定套接有齿圈，且齿轮与齿圈相互啮合，所述甩干箱的内壁顶部中间和底部中间均通过固定块安装有连接架，本实用新型，甩干效果好，甩干筒运动稳定，甩干过程的水收集方便。

技术领域

本实用新型涉及甩干机技术领域，具体为一种晶圆甩干机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行湿法清洗，去除表面的杂质，在清洗后需要对晶圆进行甩干处理，现有技术中的晶圆甩干机对晶圆的甩干效果不好，甩干筒运动不稳定，高速转动容易晃动，影响工作，同时现有的晶圆甩干机对甩干过程的水收集不方便，影响使用，因此，设计一种晶圆甩干机是很有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆甩干机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆甩干机，包括机体，所述机体的底部四角均焊接有支撑脚，所述机体的中间设置有甩干箱，所述甩干箱的表面一侧中间通过合页铰接有箱门，且箱门中间安装有视窗，所述甩干箱的内壁底部安装有导水斜座，所述导水斜座的顶部中间安装有双轴电机，所述双轴电机的输出端与转轴连接，所述甩干箱的内壁顶部安装有固定轴，且转轴和固定轴两端均固定套接有齿轮，所述甩干箱的内壁一侧中间焊接有安装座，所述安装座一端安装有甩干筒，所述甩干筒表面两端均固定套接有齿圈，且齿轮与齿圈相互啮合，所述甩干箱的内壁顶部中间和底部中间均通过固定块安装有连接架，所述连接架的一端固定有固定圈，所述固定圈内壁均匀通过固定座铰接有滚轮，所述甩干筒的表面中间固定有套环。

在进一步的实施例中，所述甩干箱的外壁两侧底部均安装有导水管，所述甩干箱的外壁两侧底部均开设有与导水管相配合的排水孔，所述导水管的一端与连接头连接，所述连接头底部安装有集水筒，所述集水筒表面中间设置有刻度线，所述连接头表面开设有外螺纹，所述集水筒内壁顶部开设有内螺纹，且外螺纹与内螺纹相配合，所述机体的外壁两侧底部均对称安装有固定环，且集水筒位于固定环内，通过刻度线对集水筒内的水量进行观察，方便及时对水进行处理，外螺纹与内螺纹的设置方便集水筒的安装拆卸，固定环的设置对集水筒进行限位固定。

在进一步的实施例中，所述安装座的一侧对应两端均安装有卡块，所述甩干筒的外侧一端固定有卡圈，且卡圈位于卡块开设的卡槽内，对甩干筒进行限位固定，保证结构稳定。

在进一步的实施例中，所述连接架上开设有与转轴和固定轴相配合的固定孔，便于转轴和固定轴的转动。

在进一步的实施例中，所述固定圈表面均匀开设有通孔，方便脱水。

在进一步的实施例中，所述套环表面圆周方面中间开设有滚槽，所述滚轮位于滚槽内，通过甩干筒转动使得滚轮在套环上的滚槽内滚动，保证甩干筒稳定。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：通过双轴电机带动转轴转动，进一步带动齿轮转动，使得齿轮通过齿圈带动甩干筒转动，进行甩干处理，固定轴和两端的齿轮相配合，保证甩干筒转动稳定，通过安装座上的卡块与甩干筒上的卡圈相配合，使得甩干筒转动稳定，通过固定圈内壁的滚轮与套环相配合，有效防止甩干筒晃动，方便工作；导水斜座的设置方便将水导向排水孔并通过导水管流入集水筒内，收集方便。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的甩干箱结构示意图；

图3是本实用新型的固定圈结构示意图；