[实用新型]一种晶圆甩干机

权利要求书

1.一种晶圆甩干机，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的底部四角均焊接有支撑脚（5），所述机体（1）的中间设置有甩干箱（2），所述甩干箱（2）的表面一侧中间通过合页铰接有箱门（3），且箱门（3）中间安装有视窗（4），所述甩干箱（2）的内壁底部安装有导水斜座（11），所述导水斜座（11）的顶部中间安装有双轴电机（12），所述双轴电机（12）的输出端与转轴（13）连接，所述甩干箱（2）的内壁顶部安装有固定轴（17），且转轴（13）和固定轴（17）两端均固定套接有齿轮（14），所述甩干箱（2）的内壁一侧中间焊接有安装座（18），所述安装座（18）一端安装有甩干筒（15），所述甩干筒（15）表面两端均固定套接有齿圈（16），且齿轮（14）与齿圈（16）相互啮合，所述甩干箱（2）的内壁顶部中间和底部中间均通过固定块（22）安装有连接架（23），所述连接架（23）的一端固定有固定圈（24），所述固定圈（24）内壁均匀通过固定座（26）铰接有滚轮（27），所述甩干筒（15）的表面中间固定有套环（25）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机，其特征在于：所述甩干箱（2）的外壁两侧底部均安装有导水管（6），所述甩干箱（2）的外壁两侧底部均开设有与导水管（6）相配合的排水孔（21），所述导水管（6）的一端与连接头（7）连接，所述连接头（7）底部安装有集水筒（8），所述集水筒（8）表面中间设置有刻度线（9），所述连接头（7）表面开设有外螺纹，所述集水筒（8）内壁顶部开设有内螺纹，且外螺纹与内螺纹相配合，所述机体（1）的外壁两侧底部均对称安装有固定环（10），且集水筒（8）位于固定环（10）内。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机，其特征在于：所述安装座（18）的一侧对应两端均安装有卡块（19），所述甩干筒（15）的外侧一端固定有卡圈（20），且卡圈（20）位于卡块（19）开设的卡槽内。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机，其特征在于：所述连接架（23）上开设有与转轴（13）和固定轴（17）相配合的固定孔。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机，其特征在于：所述固定圈（24）表面均匀开设有通孔。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机，其特征在于：所述套环（25）表面圆周方面中间开设有滚槽，所述滚轮（27）位于滚槽内。