[实用新型]一种显微镜清洁度真空吸盘装置

说明书

本实用新型提供了一种显微镜清洁度真空吸盘装置，包括吸盘基座和安装于所述吸盘基座表面的吸附网，所述吸盘基座用于为所述吸附网提供真空，所述吸附网用于通过真空吸附样品。通过该装置抽干并固定样品，操作方便且成像效果更好，具有广泛的应用前景。

技术领域

本实用新型属于显微镜辅助工具技术领域，涉及一种显微镜清洁度真空吸盘装置。

背景技术

清洁度表示零件或产品在清洗后在其表面上残留的污物的量。一般来说，污物的量包括种类、形状、尺寸、数量、重量等衡量指标；具体用何种指标取决于不同污物对产品质量的影响程度和清洁度控制精度的要求。

清洁度的测定方法很多，主要包括：目视检查法、接触角法、荧光发光法、重量法、颗粒尺寸数量法等。其中，颗粒尺寸数量法是一种清洁度测试的新方法，其基本原理是根据被检测的表面与污染物颗粒具有不同的光吸收或散射率其杂质收集方法与重量法相同，待滤膜干燥后，使用显微镜在光照射下检测，按颗粒尺寸和数量统计污物颗粒，即可得到所测物体零件的固体颗粒污染物结果。

然而，现有的显微镜清洁度的测定过程中存在以下问题：

1)现有方式需把滤膜放入烘箱，进行40分钟左右烘干，能耗高，耗时长；

2)对滤膜高温烘干后会变皱、变形，测量时表面不平影响成像效果；

3)变皱后，需要玻璃或树脂等特殊装置进行压平，影响成像质量；

4)覆盖物需要定期清理，很不方便；

5)现有方式在扫描过程中样品有可能轻微震动或相对位移，影响拼图。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种显微镜清洁度真空吸盘装置。通过该装置抽干并固定样品，操作方便且成像效果更好，具有广泛的应用前景。

为了实现上述技术目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种显微镜清洁度真空吸盘装置，包括吸盘基座和安装于所述吸盘基座表面的吸附网，所述吸盘基座用于为所述吸附网提供真空，所述吸附网用于通过真空吸附样品。

优选地，所述吸附网通过连接件安装于所述吸盘基座的表面。

更优选地，所述连接件为扁平环状且具有内倒角。

更优选地，所述连接件的内侧底部开设有两个对称的凹槽。

优选地，所述吸附网与所述吸盘基座之间还安装有吸盘上板，所述吸盘上板在所述吸盘基座内形成真空腔。

优选地，所述吸盘基座的侧面设有用于连接气泵的气管，所述吸盘基座通过所述气管抽真空。

更优选地，所述气管的数目为两个且对称安装于所述吸盘基座的两侧。

更优选地，所述吸盘基座为具有四个切角的切角长方体，两个所述气管分别安装于两个切角处。

优选地，所述吸盘基座的底端两侧对称延伸有安装部。

优选地，所述吸附网为钢网。

本实用新型的有益效果如下：

1)过滤后的滤膜放到真空吸盘上，可在5-10分钟内对滤膜完成抽干，时间短效率高。

2)通过真空吸附可保证测量表面平整，成像效果良好。

3)固定方式由真空吸盘吸附样品代替覆盖物压平样品，方便且不影响成像。

4)在扫描过程中真空吸盘能保证滤膜无相对运动，稳定不影响成像效果。

附图说明

图1为本实用新型一种显微镜清洁度真空吸盘装置的立体结构图。