[实用新型]一种显微镜清洁度真空吸盘装置有效
申请号: | 202121131925.1 | 申请日: | 2021-05-25 |
公开(公告)号: | CN215066030U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 皮晓宇;王守壮 | 申请(专利权)人: | 北京欧波同光学技术有限公司 |
主分类号: | G01N15/10 | 分类号: | G01N15/10 |
代理公司: | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人: | 刘召民 |
地址: | 100010 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显微镜 清洁 真空 吸盘 装置 | ||
1.一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,包括吸盘基座和安装于所述吸盘基座表面的吸附网,所述吸盘基座用于为所述吸附网提供真空,所述吸附网用于通过真空吸附样品。
2.根据权利要求1所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述吸附网通过连接件安装于所述吸盘基座的表面。
3.根据权利要求2所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述连接件为扁平环状且具有内倒角。
4.根据权利要求3所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述连接件的内侧底部开设有两个对称的凹槽。
5.根据权利要求2所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述吸附网与所述吸盘基座之间还安装有吸盘上板,所述吸盘上板在所述吸盘基座内形成真空腔。
6.根据权利要求1所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述吸盘基座的侧面设有用于连接气泵的气管,所述吸盘基座通过所述气管抽真空。
7.根据权利要求6所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述气管的数目为两个且对称安装于所述吸盘基座的两侧。
8.根据权利要求7所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述吸盘基座为具有四个切角的切角长方体,两个所述气管分别安装于两个切角处。
9.根据权利要求1所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述吸盘基座的底端两侧对称延伸有安装部。
10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种显微镜清洁度真空吸盘装置,其特征在于,所述吸附网为钢网。
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