[实用新型]一种用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置

说明书

本实用新型涉及一种用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，它包括：载体，所述载体中设置有主导电体；保护盖，所述保护盖中设置有电导通机构，所述电导通机构用于将所述主导电体与基板电连接；电镀外延板，所述电镀外延板连接在所述保护盖上，且所述电镀外延板与所述电导通机构电连接。由于在保护盖上设置了电镀外延板，使得保护盖在导通基板的时候，同时导通了电镀外延板，使得基板的导通面积得以扩大，镀层不均匀部分得以外扩，保证了基板的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及一种用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置。

背景技术

目前行业中常见的改善电镀表面均匀性的方式为在电镀阳极网上安装遮挡板，通过遮蔽电流的方式，控制基板表面电流的导通来控制镀层的厚度。目前此种方式在切换不同产品时，需要通过更换遮挡板来进行调整，遮挡板安装于设备槽体内部，内部充满药水，每次更换需要将药水排除，槽体清洁后，才能进行更换动作，由此产生的运营维护成本很高。因此需要改进。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，解决了提高电化学沉积均匀性的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，它包括：

载体，所述载体中设置有主导电体；

保护盖，所述保护盖中设置有电导通机构，所述电导通机构用于将所述主导电体与基板电连接；

电镀外延板，所述电镀外延板连接在所述保护盖上，且所述电镀外延板与所述电导通机构电连接。

优选地，所述保护盖为框形结构，所述保护盖围绕在基板外围。

进一步地，所述电镀外延板伴随所述保护盖延伸为框形。

优选地，所述电导通机构具有弹性。

优选地，所述电镀外延板设置在所述保护盖外侧。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，由于在保护盖上设置了电镀外延板，使得保护盖在导通基板的时候，同时导通了电镀外延板，使得基板的导通面积得以扩大，镀层不均匀部分得以外扩，从而保证了基板电流的均匀性，进而提高了镀层均匀性。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型优选实施例的用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置的结构示意图；

图2是图1的A-A剖视图；

图3是图2中B处放大图；

图4是图3中C处放大图；

其中，附图标记说明如下：

1、载体；

2、保护盖；

3、电镀外延板；

4、主导电体；

5、电导通机构；

6、吊臂；

7、基板；71、工艺边。

具体实施方式