[实用新型]一种用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置有效
| 申请号： | 202121131921.3 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN215050807U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;陈书良;施利君 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D17/00;C25D5/54 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 朱华庆 |
| 地址： | 215500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 玻璃 电化学 沉积 载体 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，其特征在于，它包括：
载体（1），所述载体（1）中设置有主导电体（4）；
保护盖（2），所述保护盖（2）中设置有电导通机构（5），所述电导通机构（5）用于将所述主导电体（4）与基板电连接；
电镀外延板（3），所述电镀外延板（3）连接在所述保护盖（2）上，且所述电镀外延板（3）与所述电导通机构（5）电连接。
2.根据权利要求1所述用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，其特征在于：所述保护盖（2）为框形结构，所述保护盖（2）围绕在基板外围。
3.根据权利要求2所述用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，其特征在于：所述电镀外延板（3）伴随所述保护盖（2）延伸为框形。
4.根据权利要求1所述用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，其特征在于：所述电导通机构（5）具有弹性。
5.根据权利要求1所述用于玻璃基板电化学沉积的基板载体装置，其特征在于：所述电镀外延板（3）设置在所述保护盖（2）外侧。
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