[实用新型]一种芯片吸嘴及芯片封装设备有效
| 申请号: | 202121093339.2 | 申请日: | 2021-05-20 |
| 公开(公告)号: | CN214588797U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
| 发明(设计)人: | 杨元杰;王加大;赵佳丽 | 申请(专利权)人: | 深圳市时代速信科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 封装 设备 | ||
1.一种芯片吸嘴,其特征在于,包括:吸嘴管以及设于所述吸嘴管上的吸嘴部,所述吸嘴管的内部设置有第一气道,所述吸嘴部的内部设有连通所述第一气道的第二气道,所述吸嘴部的顶部形成吸附面,所述吸附面上设有三个呈角锥状的卡边,三个所述卡边围成用于吸附芯片的吸附腔,所述吸附面上设有气孔,所述气孔连通所述吸附腔和所述第二气道。
2.如权利要求1所述的芯片吸嘴,其特征在于,三个所述卡边相互独立,相邻两个所述卡边之间形成间隙。
3.如权利要求1所述的芯片吸嘴,其特征在于,三个所述卡边相互连接形成一体式结构,相邻的两个所述卡边之间设有凹槽,所述凹槽的底部置于所述吸附面上。
4.如权利要求3所述的芯片吸嘴,其特征在于,所述凹槽呈圆弧形设置。
5.如权利要求1所述的芯片吸嘴,其特征在于,所述吸嘴部还包括限位部,所述限位部设于所述吸嘴部未设所述卡边的一侧底部并同时与所述吸嘴部和所述吸嘴管相连接。
6.如权利要求1所述的芯片吸嘴,其特征在于,所述卡边的斜边相对于所述吸附面倾斜设置,所述斜边与所述吸附面的夹角为120°、135°或150°。
7.如权利要求1所述的芯片吸嘴,其特征在于,所述第一气道包括第一吸嘴管气道、第二吸嘴管气道以及连接二者的过渡部,所述第二吸嘴管气道与所述第二气道相连通。
8.如权利要求7所述的芯片吸嘴,其特征在于,所述第一吸嘴管气道与所述第二吸嘴管气道同轴设置,所述第一吸嘴管气道的直径大于所述第二吸嘴管气道的直径。
9.一种芯片封装设备,其特征在于,包括设备主体及如权利要求1至8任意一项所述的芯片吸嘴,所述设备主体与所述芯片吸嘴连接。
10.如权利要求9所述的芯片封装设备,其特征在于,所述设备主体设有抽气管,所述抽气管与所述芯片吸嘴中的第一气道连通。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





