[实用新型]一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置

说明书

本实用新型公开了一种基于六维微动平台的纳米压印装置，该装置包括机架、Z向工作平台、六维微动平台、压印装置、紫外固化装置、承片台、X‑Y向工作平台。通过压印装置内的压力传感器配合六维微动平台调节透明模板至水平并在模板中心标记，通过X‑Y向工作平台调节透明衬底的位置，使承片台内的CCD相机透过透明衬底对准模板中心的标记，再通过六维微动平台使模板中心标记与透明衬底中心精准对齐，然后用模板进行压印，压印后通过紫外固化装置进行紫外固化，最后脱模。本实用新型相对于现有技术来讲，其优点是可以通过六维微动平台调节模板姿态，从而实现模板的水平调节以及模板和衬底的精准对齐。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印领域，尤其设计一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置。

背景技术

纳米压印技术最早是由美国普林斯顿大学的周郁教授于1995提出的。因其具有低廉的价格，可靠的性能和具备量产的能力等优点而成为最具发展前景的微纳制造技术之一，并在信息储存、生物传感器和亚波长光学器件等领域得到了广泛应用。目前，纳米压印技术主要分为紫外压印和热压印两种，其中，紫外纳米压印技术对环境要求相对较低，先通过在衬底上旋涂光刻胶，然后将带有微纳图案的模板下压，将光刻胶填充至其中，再通过紫外曝光固化，最后进行脱模，得到带有微纳结构图案的衬底。

但上述技术同样存在许多问题，例如，如果透明模板与透明衬底没有保持相对平行，那么就会导致在下压时透明模板与透明衬底发生相对滑移，造成压印力不均，从而影响压印的精度。如果透明模板与透明衬底间未能对齐，可能会影响图案的转移效果，从而导致压印失败。在公布号CN 209879252 U的发明专利公布了一种由可视玻璃和角度调整球组成的被动调平装置，通过可视玻璃下方所受到的力配合角度调整球实现压印过程中的被动调平。但该装置仍存在一定缺陷，即被动调平装置的扭转刚度通常较小，在脱模时容易造成过大的横向位移，破坏已经转移完成的图案。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决压印过程中透明模板与透明衬底之间难以保持相对水平、透明模板与透明衬底之间难以精准对齐从而影响图案转移效果的问题，我们提供了一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置。

根据本实用新型的目的提供一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，该装置包括机架、Z向工作平台、六维微动平台、压印装置、紫外固化装置、承片台、X-Y向工作平台，其中，机架水平放置在水平面，Z向工作平台通过螺钉固定在机架的靠板上，六维微动平台通过螺钉固定在Z向工作平台的Z向移动平台上，压印装置通过螺钉固定在六维微动平台的下方，紫外固化装置通过螺钉固定在压印装置内部，承片台通过螺钉固定在X-Y向工作平台的Y向移动平台上， X-Y向工作平台通过螺钉固定在机架的底板上。

根据本实用新型的目的提供一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的机架包括底板、支撑板一、支撑板二、靠板，其中，底板放置于水平面上，支撑板一固连在底板上，支撑板二固连在底板上，靠板固连在支撑板一和支撑板二之间。

根据本实用新型的目的提供一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的Z向工作平台包括电机编码器一、伺服电机一、固定板一、滚珠丝杠一、联轴器一、Z向移动平台，其中，电机编码器一安装在伺服电机一上，伺服电机一通过螺钉固定在固定板一上，固定板一通过螺钉固定在机架的靠板上，滚珠丝杠一一端与伺服电机一连接，另一端与联轴器一连接，联轴器一一端与伺服电机一连接，另一端与滚珠丝杠一连接，Z向移动平台安装在滚珠丝杠一上。该Z向工作平台主要用于调节六维微动平台在Z向的位移。

根据本实用新型的目的提供一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的六维微动平台包括固定框、铰链框、活动块，其中，固定框通过螺钉固定在Z向移动平台上，铰链框一端与固定框固连，另一端与活动块固连。该六维微动平台主要用于调节压印装置的姿态。