[实用新型]一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置

权利要求书

1.一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，该装置包括机架、Z向工作平台、六维微动平台、压印装置、紫外固化装置、承片台、X-Y向工作平台，其中，机架水平放置在水平面上，Z向工作平台通过螺钉固定在机架的靠板上，六维微动平台通过螺钉固定在Z向工作平台的Z向移动平台上，压印装置通过螺钉固定在六维微动平台的下方，紫外固化装置通过螺钉固定在压印装置内部，承片台通过螺钉固定在X-Y向工作平台的Y向移动平台上， X-Y向工作平台通过螺钉固定在机架的底板上。

2.根据权利要求1所述的一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的机架包括底板、支撑板一、支撑板二、靠板，其中，底板放置于水平面上，支撑板一固连在底板上，支撑板二固连在底板上，靠板固连在支撑板一和支撑板二之间。

3.根据权利要求1所述的一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的Z向工作平台包括电机编码器一、伺服电机一、固定板一、滚珠丝杠一、联轴器一、Z向移动平台，其中，电机编码器一安装在伺服电机一上，伺服电机一通过螺钉固定在固定板一上，固定板一通过螺钉固定在机架的靠板上，滚珠丝杠一一端与伺服电机一连接，另一端与联轴器一连接，联轴器一一端与伺服电机一连接，另一端与滚珠丝杠一连接，Z向移动平台安装在滚珠丝杠一上。

4.根据权利要求1所述的一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的六维微动平台包括固定框、铰链框、活动块，其中，固定框通过螺钉固定在Z向移动平台上，铰链框固连在固定框与活动块之间。

5.根据权利要求4所述的一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的铰链框包括铰链结构框一、铰链结构框二、铰链结构框三、铰链结构框四、铰链结构框五、铰链结构框六，其中，铰链结构框一包括压电陶瓷一、预紧螺钉一、直梁型柔性铰链一、连接块一、球型柔性铰链一、连接块二、球型柔性铰链二，其中，压电陶瓷一通过预紧螺钉一固定在固定框与连接块一之间，直梁型柔性铰链一固连在固定框与连接块一之间，球型柔性铰链一固连在连接块一与连接块二之间，球型柔性铰链二固连在连接块二与活动块之间，铰链结构框二的结构与铰链结构框一完全相同，铰链结构框三的结构与铰链结构框一完全相同，铰链结构框四的结构与铰链结构框一完全相同，铰链结构框五的结构与铰链结构框一完全相同，铰链结构框六的结构与铰链结构框一完全相同。

6.根据权利要求1所述的一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的压印装置包括盖板、装配件、力传感器一、力传感器二、力传感器三、力传感器四、连接框、直梁型柔性铰链七、直梁型柔性铰链八、直梁型柔性铰链九、直梁型柔性铰链十、透明模板卡盘、紧固螺钉一、紧固螺钉二、紧固螺钉三、紧固螺钉四，其中，盖板通过螺钉固定在六维微动平台的活动块上，装配件通过螺钉固定在盖板下方，力传感器一安装在装配件内，力传感器二安装在装配件内，力传感器三安装在装配件内，力传感器四安装在装配件内，连接框通过螺钉固定在装配件下方，直梁型柔性铰链七固连在连接框和透明模板卡盘之间， 直梁型柔性铰链八固连在连接框和透明模板卡盘之间，直梁型柔性铰链九固连在连接框和透明模板卡盘之间，直梁型柔性铰链十固连在连接框和透明模板卡盘之间，紧固螺钉一安装在透明模板卡盘上，紧固螺钉二安装在透明模板卡盘上，紧固螺钉三安装在透明模板卡盘上，紧固螺钉四安装在透明模板卡盘上。

7.根据权利要求1所述的一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的紫外固化装置包括紫外灯、紫外灯支撑架，其中，紫外灯通过螺钉固定在紫外灯支撑架内部，紫外灯支撑架通过螺钉固定在盖板内部。

8.根据权利要求1所述的一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的承片台包括透明衬底卡盘、支撑架、CCD相机、通孔，其中，透明衬底卡盘通过螺钉固定在支撑架上，支撑架通过螺钉固定在Y向移动平台上，CCD相机通过螺钉固定在支撑架内部，支撑架上表面设有通孔。

9.根据权利要求1所述的一种基于六维微动平台的紫外纳米压印装置，其特征在于，所述的X-Y工作平台包括电机编码器二、电机编码器三、伺服电机二、伺服电机三、固定板二、固定板三、滚珠丝杠二、滚珠丝杠三、联轴器二、联轴器三、X向移动平台、Y向移动平台，其中，电机编码器二安装在伺服电机二上，电机编码器三安装在伺服电机三上，伺服电机二通过螺钉固定在固定板二上，伺服电机三通过螺钉固定在固定板三上，固定板二通过螺钉固定底板上，固定板三通过螺钉固定在X向移动平台上，滚珠丝杠二一端与伺服电机二连接，另一端与联轴器二连接，滚珠丝杠三一端与伺服电机三连接，另一端与联轴器三连接，X向移动平台安装在滚珠丝杠二上， Y向移动平台安装在滚珠丝杠三上。