[实用新型]一种硅片混片分组机构有效
| 申请号: | 202120981530.4 | 申请日: | 2021-05-08 |
| 公开(公告)号: | CN215118842U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
| 发明(设计)人: | 张良;周肃;龚道仁;李晨 | 申请(专利权)人: | 安徽华晟新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 彭一波;张奕轩 |
| 地址: | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 分组 机构 | ||
本实用新型提供了一种硅片混片分组机构,包括至少一个来料容器、至少一个供料花篮、混片结构以及控制终端,所述控制终端与所述混片结构通信连接,所述来料容器和所述供料花篮用于承载硅片,所述控制终端控制所述混片结构将承载于所述来料容器中的硅片转运至所述供料花篮,所述硅片在所述来料容器中具有不同于在所述供料花篮中的邻集度。通过本实用新型的处理方案,通过自动混片分组方式实现硅片来源到供料的位置顺序处理,能够保证供料花篮中硅片片源的一致性,避免一般采用手动操作的方式按照顺序进行分组,造成供料花篮中硅片脏污和碎片的问题。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域,尤其涉及一种硅片混片分组机构。
背景技术
目前的硅片通常是由硅棒通过金刚线切割得到,硅棒在生长过程中受硅料质量、坩埚温度、掺杂因素等影响,位于同一根硅棒不同位置切割得到的硅片品质不相同,硅棒的头部、尾部与中部位置的品质差异较大。而且,不同的硅棒切割得到的硅片品质之间也会存在较大的差异,尤其是单晶拉制的第一个晶棒和最后一根晶棒的品差异更大。
在实验室的硅料系统中,硅片直接从硅片厂家运输后装载于泡沫容器中,或者经上料系统装载在花篮中,同一花篮中的硅片是随机分配的,这些硅片可能来自同一根硅棒、由位于连续的部位或不连续的部位割切得到,也可能来自不同的硅棒,也可能来自不同厂家。目前,对于硅片的来源没有也不可能进行追溯。这就导致不同花篮的硅片来源具有波动性,硅片一致性较差,会导致各组硅片制成的电池效率偏差,对实验结果造成干扰。
然而,保证片源的一致性和均匀性,是保证实验结果可靠性的重要因素。目前并没有专门的片源分配装置,实验过程中技术人员往往只能手动放置,会造成硅片污染或破损,而且效率低下。如何自动地实现片源的一致性和均匀性,是技术人员在实验过程中的一大困扰。
发明内容
有鉴于此,本实用新型提供一种硅片混片分组机构,至少部分解决现有技术中存在的问题。
本实用新型的硅片混片分组机构包括包括至少一个来料容器、至少一个供料花篮、混片结构以及控制终端,所述控制终端与所述混片结构通信连接,所述来料容器和所述供料花篮用于承载硅片,所述控制终端控制所述混片结构将承载于所述来料容器中的硅片转运至所述供料花篮,所述硅片在所述来料容器中具有不同于在所述供料花篮中的邻集度。
根据本实用新型的一种具体实现方式,所述供料花篮包括上板、下板和托起柱,所述托起柱连接所述上板和所述下板的四角,所述托起柱设置有层叠的卡槽,所述卡槽用于承载所述硅片。
根据本实用新型的一种具体实现方式,所述硅片混片分组机构还包括升降装置,所述升降装置与所述控制终端通信连接,所述升降装置用于使得所述供料花篮上升或者下降,以使得所述硅片装载于所述供料花篮的卡槽中。
根据本实用新型的一种具体实现方式,所述混片结构包括至少一条运输轨道,所述运输轨道的宽度小于相邻托起柱之间的距离;所述运输轨道的传输方向与所述供料花篮的放置方向垂直且能从所述供料花篮穿过,所述供料花篮在所述升降装置的带动下使得所述卡槽与所述运输轨道的传输面逐一齐平。
根据本实用新型的一种具体实现方式,所述运输轨道采用带传动、链传动或滚轮传动带结构,至少两条所述运输轨道具有不同的方向或位置定向。
根据本实用新型的一种具体实现方式,所述混片结构包括机械臂和连接于所述机械臂的自由端的置放爪或吸盘,所述机械臂能够伸缩运动以带动所述置放爪或所述吸盘移动,以使得所述硅片装载于所述供料花篮的卡槽中。
根据本实用新型的一种具体实现方式,所述置放爪或所述吸盘在所述机械臂的控制下步进动作,由下而上取放所述硅片。
根据本实用新型的一种具体实现方式,所述供料花篮设置有感应装置,所述感应装置用于检测所述硅片的传输位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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