[实用新型]一种硅片混片分组机构有效

专利信息
申请号: 202120981530.4 申请日: 2021-05-08
公开(公告)号: CN215118842U 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 张良;周肃;龚道仁;李晨 申请(专利权)人: 安徽华晟新能源科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677
代理公司: 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 代理人: 彭一波;张奕轩
地址: 242074 安徽省宣城市宣城经*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 分组 机构
【权利要求书】:

1.一种硅片混片分组机构(100),其特征在于,包括至少一个来料容器(110)、至少一个供料花篮(120)、混片结构(130)以及控制终端(140),所述控制终端(140)与所述混片结构(130)通信连接,所述来料容器(110)和所述供料花篮(120)用于承载硅片(160),所述控制终端(140)控制所述混片结构(130)将承载于所述来料容器(110)中的硅片(160)转运至所述供料花篮(120),所述硅片(160)在所述来料容器(110)中具有不同于在所述供料花篮(120)中的邻集度。

2.根据权利要求1所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述供料花篮(120)包括上板(101)、下板(102)和托起柱(103),所述托起柱(103)连接所述上板(101)和所述下板(102)的四角,所述托起柱(103)设置有层叠的卡槽(104),所述卡槽(104)用于承载所述硅片(160)。

3.根据权利要求2所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述硅片混片分组机构(100)还包括升降装置,所述升降装置与所述控制终端(140)通信连接,所述升降装置用于使得所述供料花篮(120)上升或者下降,以使得所述硅片(160)装载于所述供料花篮(120)的卡槽(104)中。

4.根据权利要求3所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述混片结构(130)包括至少两条运输轨道,所述运输轨道的宽度小于相邻托起柱(103)之间的距离;所述运输轨道的传输方向与所述供料花篮(120)的放置方向垂直且能从所述供料花篮(120)穿过,所述供料花篮(120)在所述升降装置的带动下使得所述卡槽(104)与所述运输轨道的传输面逐一齐平。

5.根据权利要求4所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述运输轨道采用带传动、链传动或滚轮传动带结构,至少两条所述运输轨道具有不同的方向或位置定向。

6.根据权利要求2所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述混片结构(130)包括机械臂(301)和连接于所述机械臂(301)的自由端的置放爪(302)或吸盘,所述机械臂(301)能够伸缩运动以带动所述置放爪(302)或所述吸盘移动,以使得所述硅片(160)装载于所述供料花篮(120)的卡槽(104)中。

7.根据权利要求6所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述置放爪(302)或所述吸盘在所述机械臂(301)的控制下步进动作,由下而上取放所述硅片(160)。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述供料花篮(120)设置有感应装置,所述感应装置用于检测所述硅片(160)的传输位置。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述混片结构(130)将所述至少一个来料容器(110)中的硅片(160)依次或随机顺序分配到所述至少一个所述供料花篮(120)。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片混片分组机构(100),其特征在于,所述硅片混片分组机构(100)还包括图像识别系统(150),所述图像识别系统(150)与所述控制终端(140)通信连接,并用于获取所述来料容器(110)和所述供料花篮(120)的位置信息和数量信息,并将所获取的所述位置信息和所述数量信息传送给所述控制终端(140)。

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