[实用新型]硅片负压顶升装置及硅片检测分选设备有效

专利信息
申请号: 202120969842.3 申请日: 2021-05-07
公开(公告)号: CN214705892U 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 曹葵康;孙靖;钱春辉;顾烨;孙俊;苏傲;胡辉来;程璧;张体瑞;温延培 申请(专利权)人: 苏州天准科技股份有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 苏州国诚专利代理有限公司 32293 代理人: 马振华
地址: 215163 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 压顶 装置 检测 分选 设备
【说明书】:

实用新型提供一种硅片负压顶升装置及硅片检测分选设备,其中,硅片负压顶升装置包括:负压吸附机构以及顶升机构;负压吸附机构包括:吸盘以及负压发生组件,吸盘的工作面上开设有吸孔和/或吸槽,负压发生组件与吸盘相连接,并能够在吸孔和/或吸槽处产生负压;顶升机构设置于负压吸附机构下方,其包括:驱动单元以及顶升组件,驱动单元与顶升组件传动连接,顶升组件与负压吸附机构传动连接,并能够带动负压吸附机构进行升降运动。本实用新型通过设置负压吸附机构,使得硅片在顶升过程中,能够与传送带保持贴合,进而保证了后续硅片在输送至收纳盒的过程中,不会与输送流线分离,克服了现有技术中硅片之间容易发生碰撞的问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片检测分选技术领域,尤其涉及一种硅片负压顶升装置及硅片检测分选设备。

背景技术

硅片作为重要的工业原材料,被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。因此,在硅片生产出厂之前需要对其质量进行严格的把控,以保证由硅片制造的太阳能电池、电路板等产品的质量。

目前,在硅片的检测分选过程中,涉及到需要将分选的硅片分流到相应的收纳盒中。现有技术中,需要将流线上的硅片顶起,然后改变其输送方向,使其流入到对应的收纳盒中。然而,上述方式存在的问题是,由于工业生产中的输送时间是较为精确和连续的,而将硅片顶起时可能导致硅片与输送流线分离,此时在短时间内硅片处于悬空状态,而输送流线持续工作,硅片下落时可能存在与后方输送而来的硅片发生碰撞的问题。因此,针对上述问题,有必要提出进一步地解决方案。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种硅片负压顶升装置及硅片检测分选设备,以克服现有技术中存在的不足。

为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:

一种硅片负压顶升装置,其包括:负压吸附机构以及顶升机构;

所述负压吸附机构包括:吸盘以及负压发生组件,所述吸盘的工作面上开设有吸孔和/或吸槽,所述负压发生组件与所述吸盘相连接,并能够在所述吸孔和/或吸槽处产生负压;

所述顶升机构设置于所述负压吸附机构下方,其包括:驱动单元以及顶升组件,所述驱动单元与所述顶升组件传动连接,所述顶升组件与所述负压吸附机构传动连接,并能够带动所述负压吸附机构进行升降运动。

作为本实用新型的硅片负压顶升装置的改进,所述负压发生组件包括负压发生腔,其安装于所述吸盘的下方,所述吸孔和/或吸槽与所述负压发生腔相连通。

作为本实用新型的硅片负压顶升装置的改进,所述负压吸附机构还包括底座,所述负压吸附机构安装于所述底座上,所述顶升组件与所述底座的底部传动连接。

作为本实用新型的硅片负压顶升装置的改进,所述硅片负压顶升装置还包括导向机构,所述导向机构包括两根导向柱,两根导向柱分布于所述顶升机构的两侧,且所述底座通过导向套沿两侧的导向柱进行升降运动。

作为本实用新型的硅片负压顶升装置的改进,所述驱动单元为一水平设置的电机。

作为本实用新型的硅片负压顶升装置的改进,所述顶升组件包括:连杆以及偏心轮,所述驱动单元的输出端与所述偏心轮相连接,所述连杆一端与所述偏心轮相连接,另一端与所述负压吸附机构相连接。

作为本实用新型的硅片负压顶升装置的改进,所述硅片负压顶升装置还包括输送机构,所述输送机构包括输送带,所述输送带与所述工作面共面或者略高于所述工作面。

作为本实用新型的硅片负压顶升装置的改进,所述输送带分布于所述吸盘的两侧。

作为本实用新型的硅片负压顶升装置的改进,所述硅片负压顶升装置还包括旋转电机,所述旋转电机安装于所述负压吸附机构的底座中,并带动所述输送带进行运动。

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