[实用新型]一种气浮式吸嘴模组

权利要求书

1.一种气浮式吸嘴模组，其特征在于，包括气浮轴、固定座和吸嘴；所述固定座上设有供所述气浮轴上下活动的活动腔，所述气浮轴的下端设有吸嘴槽，所述气浮轴的侧壁上设有连通所述吸嘴槽的第一负压气道和第二负压气道，分别用以吸附所述吸嘴和配合所述吸嘴内的气道吸附工件；所述活动腔的内壁上轴向设置有负压部位和正压部位，所述负压部位上对应所述第一负压气道和所述第二负压气道分别设有第一负压气口和第二负压气口；所述正压部位上设有正压气道，用于在所述气浮轴和所述活动腔内壁之间形成气流膜以将所述气浮轴和所述固定座分离；装配到位时，所述气浮轴的侧壁与所述负压部位之间的距离的范围为3到5微米。

2.根据权利要求1所述的气浮式吸嘴模组，其特征在于，所述负压部位设于所述活动腔的中部，所述活动腔的上部和下部均设有所述正压部位。

3.根据权利要求2所述的气浮式吸嘴模组，其特征在于，所述固定座的上方设有气浮端盖，所述气浮轴的上端与所述气浮端盖连接。

4.根据权利要求1所述的气浮式吸嘴模组，其特征在于，所述气浮轴的上方设有驱动其旋转的旋转机构，所述气浮轴与所述旋转机构通过弹性组件连接。

5.根据权利要求4所述的气浮式吸嘴模组，其特征在于，所述旋转机构为电机，所述弹性组件包括与所述气浮轴同轴连接的弹簧片、固定所述弹簧片的弹簧座和连接所述弹簧座与所述电机的连接盖；所述弹簧座上设有适配所述弹簧片的定位槽，所述定位槽的底面上设有供所述弹簧片的中部上下形变的活动穿孔，所述定位槽内设有固定所述弹簧片的固定件，所述连接盖与所述弹簧座可拆卸连接。

6.根据权利要求5所述的气浮式吸嘴模组，其特征在于，所述弹簧片上开设有减小所述弹簧片的应力的开孔，所述开孔设有多个，多个所述开孔沿所述弹簧片的径向方向多层分布。

7.根据权利要求1所述的气浮式吸嘴模组，其特征在于，所述吸嘴槽呈喇叭状，所述吸嘴槽的底部设有导通室，装配到位时，所述吸嘴内的气道与所述导通室导通，所述第一负压气道连通所述吸嘴槽的斜侧壁，所述第二负压气道连通所述导通室。

8.根据权利要求1所述的气浮式吸嘴模组，其特征在于，所述第一负压气道的出气口与所述第二负压气道的出气口沿所述气浮轴的轴向方向分布，所述负压部位上分别对应所述第一负压气道与所述第二负压气道设有第一环形槽和第二环形槽，所述正压部位上纵向开设有行程槽，所述正压气道连通所述行程槽，所述行程槽设有多个且呈环形均匀分布在所述正压部位上。

9.根据权利要求8所述的气浮式吸嘴模组，其特征在于，所述固定座包括分气轴和套设在所述分气轴外侧的分气轴座；所述分气轴上设有贯穿其两端的通孔，所述通孔形成所述活动腔；所述分气轴的外侧壁上设有分隔所述第一负压气口和所述第二负压气口以及所述正压气道的密封环，所述分气轴座上分别对应所述第一负压气口和所述第二负压气口以及所述正压气道设有第一气嘴、第二气嘴和第三气嘴；所述分气轴的上端设有定位台，所述分气轴的下端穿出所述活动腔并通过止位件与所述分气轴座固定连接。