[实用新型]一种激光位移检测装置

权利要求书

1.一种激光位移检测装置，其特征在于，包括激光位移传感器(1)、栅体组件(2)、待测物体(3)以及控制模块；其中，

所述激光位移传感器(1)随所述待测物体(3)移动；所述激光位移传感器(1)位于所述栅体组件(2)的上方；

所述栅体组件(2)包括若干均匀分布的机械栅体(21)，且所述激光位移传感器(1)发射的入射激光倾斜入射至所述机械栅体(21)上；

所述激光位移传感器(1)以及所述待测物体(3)均与所述控制模块信号连接。

2.如权利要求1所述的激光位移检测装置，其特征在于，相邻所述机械栅体(21)之间的距离L与所述机械栅体(21)的高度，以及所述入射激光与水平面之间的夹角α满足如下关系：

H≥L.tanα。

3.如权利要求1所述的激光位移检测装置，其特征在于，所述机械栅体(21)的顶端包括楔形面(211)，所述楔形面(211)的倾斜方向与所述入射激光的入射方向一致。

4.如权利要求3所述的激光位移检测装置，其特征在于，所述楔形面(211)的斜率不小于所述入射激光的斜率。

5.如权利要求1～4任一项所述的激光位移检测装置，其特征在于，所述栅体组件(2)还包括栅体支架(22)，若干所述机械栅体(21)均匀分布于所述栅体支架(22)上，所述栅体支架(22)的两端均与所述待测物体(3)相连。

6.如权利要求5所述的激光位移检测装置，其特征在于，所述待测物体(3)包括单轴伺服组件。

7.如权利要求6所述的激光位移检测装置，其特征在于，所述单轴伺服组件包括伺服支撑架(31)、连接于所述伺服支撑架(31)上的丝杠(32)、设置于所述丝杠(32)上的移动螺母(33)，以及与所述丝杠(32)相连的伺服驱动电机(34)；所述激光位移传感器(1)与所述移动螺母(33)相连。

8.如权利要求7所述的激光位移检测装置，其特征在于，所述单轴伺服组件还包括导轨(35)，所述导轨(35)与所述伺服支撑架(31)固定连接，且所述移动螺母(33)与所述导轨(35)滑动连接。

9.如权利要求8所述的激光位移检测装置，其特征在于，所述导轨(35)的数量为两个，两个所述导轨(35)分别位于所述丝杠(32)的两侧。