[实用新型]一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台

说明书

本实用新型涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台。包括真空保温层，所述真空保温层上端设置有保温盖，所述保温盖和所述真空保温层内侧形成保温腔，所述真空保温层外侧和底部包裹有防护层，所述保温腔内设置有载物台，所述载物台上表面设置有用于定位和固定晶圆的晶圆固定件、四周开有用于安装传感器的若干sensor孔；所述保温盖上开有注液口、并通过上盖板盖住，所述防护层外侧和底部包裹有外壳，所述外壳下端固定有安装适配板。本实用新型通过真空保温层和保温盖构成的保温腔，可以有效的避免液氮的快速挥发，确保液氮注入后能够快速的进入稳定状态，方便进行液氮环境下的晶圆测试工作。

技术领域

本实用新型涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台。

背景技术

探针台是应用于半导体行业的测试设备，尤其在集成电路测试领域，应用极为广泛。通常，集成电路在探针台上会进行电学性能测试，以判断集成电路是否达到设计要求，或者满足使用要求。随着科技的进步和需求的提高，集成电路制程越来越先进，性能越来越高，相应的测试要求和测试环境也越来越严苛。部分芯片应用的环境需要达到液氮的温度，所以测试测试时同样需要模拟液氮环境，手动探针台的液氮环境建立的方法只有使载物台表面存有液氮。

传统手动探针台由于测试方式的局限性，无法将测试空间封闭，液氮在载物台上会在极短时间沸腾挥发，不仅无法进行扎针和测试，还会使载物台在液氮挥发完毕之后结霜，无法满足测试需求。

现有技术中手动探针台搭建的液氮环境测试装置主要是在杜瓦瓶中放置不锈钢或铜板承载测试晶圆，同时搭建探针固定平台进行扎针测试，由于晶圆无法固定卡紧，只能通过探针压住，注入液氮后探针和晶圆冷缩程度不同，扎针的位置和深度会发生变化，对测试结果产生较大的影响。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种液氮环境载物装置，包括真空保温层，所述真空保温层上端设置有保温盖，所述保温盖和所述真空保温层内侧形成保温腔，所述真空保温层外侧和底部包裹有防护层，所述保温腔内设置有载物台，所述载物台上表面设置有用于定位和固定晶圆的晶圆固定件、四周开有用于安装传感器的若干sensor孔；所述保温盖上开有注液口、并通过上盖板盖住，所述防护层外侧和底部包裹有外壳，所述外壳下端固定有安装适配板。

进一步地，所述载物台通过载物台支撑柱和载物台固定底盘悬空设置在所述保温腔内。

进一步地，所述上盖板上还设置有手柄。

优选的，所述防护层为聚四氟防护层。

进一步地，所述安装适配板上表面绕所述外壳开有储水槽。

进一步地，所述保温盖上面盖有外盖。

一种应用于晶圆测试的液氮手动探针台，包括工作台和所述液氮环境载物装置，所述液氮环境载物装置通过微调滑台安装在所述工作台上，所述工作台上还安装有显微镜机构和手工探针台，所述显微镜机构通过显微镜支撑架设置在所述液氮环境载物装置的上端，所述手工探针台设置在所述液氮环境载物装置的左右两侧；所述工作台上设置有收纳管。

进一步地，所述微调滑台包括X轴微调滑台和Y轴微调滑台，其前端设置有把手，所述液氮环境载物装置通过所述把手快速插入安装到所述工作台上和取出所述工作台。

进一步地，所述工作台下端安装有减震脚垫。

进一步地，所述工作台侧边还设置有开关组件。

本实用新型的有益效果是：