[实用新型]一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台

权利要求书

1.一种液氮环境载物装置，其特征在于：包括真空保温层（301），所述真空保温层（301）上端设置有保温盖（302），所述保温盖（302）和所述真空保温层（301）内侧形成保温腔（3011），所述真空保温层（301）外侧和底部包裹有防护层（304），所述保温腔（3011）内设置有载物台（303），所述载物台（303）上表面设置有用于定位和固定晶圆的晶圆固定件（3034）、四周开有用于安装传感器的若干sensor孔（3033）；所述保温盖（302）上开有注液口（3021）、并通过上盖板（3022）盖住，所述防护层（304）外侧和底部包裹有外壳（305），所述外壳（305）下端固定有安装适配板（306）。

2.如权利要求1所述的一种液氮环境载物装置，其特征在于：所述载物台（303）通过载物台支撑柱（3031）和载物台固定底盘（3032）悬空设置在所述保温腔（3011）内。

3.如权利要求1所述的一种液氮环境载物装置，其特征在于：所述上盖板（3022）上还设置有手柄（3023）。

4.如权利要求1所述的一种液氮环境载物装置，其特征在于：所述防护层（304）为聚四氟防护层。

5.如权利要求1所述的一种液氮环境载物装置，其特征在于：所述安装适配板（306）上表面绕所述外壳（305）开有储水槽（3061）。

6.如权利要求1所述的一种液氮环境载物装置，其特征在于：所述保温盖上面盖有外盖（307）。

7.一种应用于晶圆测试的液氮手动探针台，其特征在于：包括工作台（1）和权利要求1-6任一权利要求所述的液氮环境载物装置（3），所述液氮环境载物装置（3）通过微调滑台（7）安装在所述工作台（1）上，所述工作台（1）上还安装有显微镜机构（2）和手工探针台（4），所述显微镜机构（2）通过显微镜支撑架设置在所述液氮环境载物装置（3）的上端，所述手工探针台（4）设置在所述液氮环境载物装置（3）的左右两侧；所述工作台（1）上设置有收纳管（5）。

8.如权利要求7所述的一种应用于晶圆测试的液氮手动探针台，其特征在于：所述微调滑台（7）包括X轴微调滑台和Y轴微调滑台，其前端设置有把手（701），所述液氮环境载物装置（3）通过所述把手（701）快速插入安装到所述工作台（1）上和取出所述工作台（1）。

9.如权利要求7所述的一种应用于晶圆测试的液氮手动探针台，其特征在于：所述工作台（1）下端安装有减震脚垫（101）。

10.如权利要求7所述的一种应用于晶圆测试的液氮手动探针台，其特征在于：所述工作台（1）侧边还设置有开关组件（6）。