[实用新型]一种微波等离子清洗机用的波导矩阵有效
| 申请号: | 202120901692.2 | 申请日: | 2021-04-28 |
| 公开(公告)号: | CN214624967U | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 田鹏康 | 申请(专利权)人: | 中科光智(西安)科技有限公司 |
| 主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01J37/02;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 王小燕 |
| 地址: | 710065 陕西省西安市高新*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 微波 等离子 清洗 波导 矩阵 | ||
1.一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,包括真空腔体(1)、第一风罩(2)和第二风罩(3),其特征在于:所述第一风罩(2)的数量为若干个并设置在真空腔体(1)的上方,所述第二风罩(3)的数量为若干个并设置在真空腔体(1)的正面,所述第一风罩(2)的顶部以及第二风罩(3)的正面设置有进出风机构(4),所述进出风机构(4)包括第一进风口(41)、第一出风管(42)、第二进风口(43)和第二出风管(44),所述真空腔体(1)的顶部设置有第一波导固定面(5),所述真空腔体(1)的正面设置有第二波导固定面(6),所述第一波导固定面(5)的顶部安装有第一弧形反射面(7),第一弧形反射面(7)的正面设置有第一倾斜反射面(9),所述第二波导固定面(6)的正面安装有第二弧形反射面(8),所述第二弧形反射面(8)的底部设置有第二倾斜反射面(10)。
2.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述第一进风口(41)和第一出风管(42)的底端均与第一风罩(2)相互连通,且第二进风口(43)和第二出风管(44)的后端均与第二风罩(3)相互连通。
3.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述真空腔体(1)的底部设置有减震垫(11),所述减震垫(11)的材质为减震橡胶。
4.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述第一波导固定面(5)和第二波导固定面(6)均通过螺栓与真空腔体(1)相互固定,且第一波导固定面(5)的尺寸与第二波导固定面(6)的尺寸相同。
5.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述第一倾斜反射面(9)的倾角为60-75°,且第二倾斜反射面(10)的倾角为30-45°。
6.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述第一进风口(41)和第二进风口(43)的开口处均呈方形,所述第一出风管(42)和第二出风管(44)的内径相同。
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