[实用新型]一种微波等离子清洗机用的波导矩阵有效

专利信息
申请号: 202120901692.2 申请日: 2021-04-28
公开(公告)号: CN214624967U 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 田鹏康 申请(专利权)人: 中科光智(西安)科技有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01J37/02;H01L21/67
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 王小燕
地址: 710065 陕西省西安市高新*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 微波 等离子 清洗 波导 矩阵
【权利要求书】:

1.一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,包括真空腔体(1)、第一风罩(2)和第二风罩(3),其特征在于:所述第一风罩(2)的数量为若干个并设置在真空腔体(1)的上方,所述第二风罩(3)的数量为若干个并设置在真空腔体(1)的正面,所述第一风罩(2)的顶部以及第二风罩(3)的正面设置有进出风机构(4),所述进出风机构(4)包括第一进风口(41)、第一出风管(42)、第二进风口(43)和第二出风管(44),所述真空腔体(1)的顶部设置有第一波导固定面(5),所述真空腔体(1)的正面设置有第二波导固定面(6),所述第一波导固定面(5)的顶部安装有第一弧形反射面(7),第一弧形反射面(7)的正面设置有第一倾斜反射面(9),所述第二波导固定面(6)的正面安装有第二弧形反射面(8),所述第二弧形反射面(8)的底部设置有第二倾斜反射面(10)。

2.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述第一进风口(41)和第一出风管(42)的底端均与第一风罩(2)相互连通,且第二进风口(43)和第二出风管(44)的后端均与第二风罩(3)相互连通。

3.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述真空腔体(1)的底部设置有减震垫(11),所述减震垫(11)的材质为减震橡胶。

4.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述第一波导固定面(5)和第二波导固定面(6)均通过螺栓与真空腔体(1)相互固定,且第一波导固定面(5)的尺寸与第二波导固定面(6)的尺寸相同。

5.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述第一倾斜反射面(9)的倾角为60-75°,且第二倾斜反射面(10)的倾角为30-45°。

6.如权利要求1的一种微波等离子清洗机用的波导矩阵,其特征在于:所述第一进风口(41)和第二进风口(43)的开口处均呈方形,所述第一出风管(42)和第二出风管(44)的内径相同。

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