[实用新型]一种用于晶圆检测的移动载台机构

权利要求书

1.一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，包括移动装置(1)、移动台(2)、四个电动推杆(3)、活动块(4)、调节机构(5)和承托机构(6)，所述移动装置(1)的上表面固定连接有移动台(2)，所述移动台(2)上表面的四周均固定连接有电动推杆(3)，所述电动推杆(3)的输出轴固定连接有活动块(4)，所述移动台(2)上表面的中心处固定连接有调节机构(5)，所述调节机构(5)的顶部固定连接有承托机构(6)；

所述调节机构(5)包括与移动台(2)上表面固定连接的调节电机(501)，所述调节电机(501)的输出轴固定连接有主动锥齿(502)，所述调节机构(5)还包括与移动台(2)上表面中心处活动连接的圆杆(503)，所述圆杆(503)的外表面固定连接有与主动锥齿(502)相啮合的从动锥齿(504)，所述圆杆(503)的上表面固定连接有伸缩杆(505)，所述伸缩杆(505)的上表面固定连接有固定架(506)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，所述移动装置(1)包括支架(101)，所述支架(101)的正面固定连接有驱动电机(102)，所述驱动电机(102)的输出轴固定连接有螺杆(103)，所述支架(101)内腔前后两端之间的左右两侧均固定连接有导杆(104)，所述螺杆(103)的外表面螺纹连接有螺纹块(105)，所述导杆(104)的外表面滑动连接有滑块(106)。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，所述承托机构(6)包括与调节机构(5)顶部固定连接的承托盘(601)，所述承托盘(601)外表面的四周均固定连接有气缸(602)，所述气缸(602)的输出轴固定连接有夹板(603)，所述承托盘(601)下表面的中心处固定连接有光电感应器(604)。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，所述活动块(4)呈T形，所述承托机构(6)的下表面开设有T状环形槽，所述活动块(4)位于T状环形槽的内部。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，所述固定架(506)呈U形，所述伸缩杆(505)包括方形套筒与方形滑杆，所述方形套筒的内侧滑动连接有方形滑杆，所述方形套筒的底部与圆杆(503)的顶部相固定，所述方形滑杆的顶部与固定架(506)的底部相固定。

6.根据权利要求3所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，所述承托盘(601)的中心处开设有圆形通孔，所述光电感应器(604)位于圆形通孔的下方，所述承托盘(601)上表面的四周均开设有滑槽，所述夹板(603)的底部位于滑槽的内部。

7.根据权利要求3所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，所述承托盘(601)的顶部固定连接有橡胶保护垫，多个所述夹板(603)相对的一侧均固定连接有保护软垫。

8.根据权利要求2所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，所述支架(101)为U形支架，所述螺纹块(105)的上表面与移动台(2)的下表面相固定，所述滑块(106)的上表面与移动台(2)的下表面相固定。