[实用新型]一种晶圆自动背刮装置

权利要求书

1.一种晶圆(100)自动背刮装置，包括承载机构(300)，所述承载机构(300)包括用于承接粘合于晶圆(100)背面的粘性膜(200)的框环(310)；其特征在于：还包括驱动机构(600)以及刮擦机构(500)；

所述驱动机构(600)包括双方向直线运动机构组合，双方向直线运动机构组合包括X轴直线运动机构(610)以及Y轴直线运动机构(620)；

所述刮擦机构(500)配置于框环(310)下方，并与所述驱动机构(600)耦接，所述刮擦机构(500)抵接晶圆(100)背面粘性膜(200)时，双方向直线运动机构组合带动刮擦机构(500)在X轴或Y轴方向上移动，以使刮擦机构(500)背刮所述晶圆(100)。

2.根据权利要求1所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：所述X轴直线运动机构(610)与Y轴直线运动机构(620)相互垂直。

3.根据权利要求1所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：所述驱动机构(600)还包括旋转运动机构(640)，所述刮擦机构(500)为圆环片状结构的刮擦件；

所述旋转运动机构(640)耦接双方向直线运动机构组合以及刮擦件，双方向直线运动机构组合通过带动旋转运动机构(640)移动，以带动刮擦件在X轴或Y轴方向移动，且所述旋转运动机构(640)带动刮擦件旋转。

4.根据权利要求3所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：所述驱动机构(600)还包括Z轴直线运动机构(630)；

所述Z轴直线运动机构(630)耦接双方向直线运动机构组合以及旋转运动机构(640)，双方向直线运动机构组合通过带动Z轴直线运动机构(630)移动，以带动旋转运动机构(640)在X轴或Y轴方向移动，所述Z轴直线运动机构(630)带动旋转运动机构(640)在Z轴方向上移动，以使与旋转运动机构(640)耦接的刮擦件在X轴或Y轴或Z轴方向上移动。

5.根据权利要求1所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：所述X轴直线运动机构(610)为X轴丝杆模组，所述Y轴直线运动机构(620)为Y轴丝杆模组。

6.根据权利要求1所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：还包括固定机构(400)，所述固定机构(400)用于夹持框环(310)以固定晶圆(100)。

7.根据权利要求6所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：所述承载机构(300)还包括机台(320)，所述机台(320)台面为环状框体(321)，用于承载所述框环(310)；

所述固定机构(400)为设置于环状框体(321)上的定位气缸，以使框环(310)装配在机台(320)台面的环状框体(321)上时，定位气缸向下移动与环状框体(321)配合上下夹持框环(310)。

8.根据权利要求7所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：分别设置两个定位气缸于环状框体(321)的左右两侧。

9.根据权利要求1所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：所述框环(310)的中部开口(311)的面积大于晶圆(100)面积，以使晶圆(100)背面全部暴露于开口(311)中。

10.根据权利要求3所述的晶圆(100)自动背刮装置，其特征在于：所述刮擦件为铁质材料制成。